パワー半導体KGDテスター
PB6400
パワー半導体KGDテスター選別システム
特徴
柔軟性のある設計
Handler部分(PB6400)はテスト部分から切り離され、拡張性が高い
マルチチャンネルの並列テスト
最大で4つのテストステーションに対応し、各テストステーションは異なるテスト条件とテスト項目を同時に実施可能
動的および静的パラメトリック・テストに対応
2000V/300A静的テストと2000V/1200A動的テストに対応
温度均一性が高い
均一性±0.5℃ 、確度<0.5℃ 、分解能 0.1℃| パラメータ | 仕様 |
| 適用製品 | SiCチップ |
| Waferのサイズ | 4インチ、6インチ、8インチ |
| 静的パラメーター | Vds,Vth,Idss,Igss,Rds(on),Vsd |
| 動的パラメーター | Eas,Rint,Ciss,Coss,Crss,Eoss |
| スイッチパラメーター | Isc,Td(on),Tr,Tf(off),Tf,Eon,Eoff,Trr,Qrr,Irrm |
| システムの消費電力 | <10kW |
| 窒素防護 | 2~5Bar |
| 温度範囲 | 常温-200℃ |
ACテストステーション数 |
テストステーション数のカスタマイズに対応 |
DCテストステーション数 | テストステーション数のカスタマイズに対応 |
| 電流・電圧オーバーシュート | いずれの場合にもオーバーシュートはありません |
| MESドッキング | MESドッキングに対応 |
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