PXIeプラグインソースメーター
S2011C
単一チャンネル PXIe 高精度SMU
効率的で費用対効果の高いシングルチャネルPXIe SMUは、既存の大手のPXIeシャーシと組み合わせて使用することができ、マルチカード同期に対応し、生産テストシステムに統合して使用することで、システムのテスト効率を高め、コストを削減することができます。同時に、Adaptive PFCにも対応しています。
特徴
高い伝送レート
シングルチャンネル標準PXIe高精度SMU
広い測定範囲
±60 V、 ± 3 A(DC)、±10 A(パルス)
高い分解能
最小測定分解能は100fA/100nVに達します
拡張に便利
標準のPXIeシャーシを使用することで、マルチチャネル拡張を簡単に実現機能と利点
5つの機能を同時搭載
電圧源
各種のデバイスをテスト可能
より多くのテストデータを取得
♦ 6桁半のデジタル分解能：精度は6 1/2桁のデジタル回路計に相当します。
多様なスキャン機能
DC I-V出力能力
パルスI-V出力能力
電圧仕様
|
電圧精度 |
測定範囲 | 分解能の設定 | 精度(1年)±(%読み取り値+バイアス) | 雑音の標準値（有効値）0.1 Hz-10Hz |
| ±60 V | 10 μV | 0.02%+3 mV | 200 μV | |
| ±6 V | 1 μV | 0.02%+0.3 mV | 60 μV | |
| ±0.6 V | 100 nV | 0.02%+50 μV | 20 μV | |
| 温度係数 | ±(0.15 × 精度仕様)/°C (0℃-18℃、28℃-50℃) | |||
| 時間の設定 |
<50 μs（標準値） |
|||
| オーバーショート | <±0.1%(標準値、Normal、ステップは範囲の10%から90%、測定範囲内の最大値、抵抗負荷テスト) | |||
| ノイズ 10Hz-20MHz |
6 V電圧源、3 A抵抗負荷、<5 mVrms |
|||
電流仕様
|
電流精度 |
測定範囲 | 分解能の設定 | 精度(1年)±(%読み取り値+バイアス) | 雑音の標準値（有効値）0.1 Hz-10Hz |
| ±10 A1 |
1 μA |
0.03% + 2mA |
20 μA |
|
| ±3 A | ||||
| ±1 A | 100 nA | 0.03% + 90 μA | 3 μA | |
| ±100 mA | 10 nA | 0.03% + 9 μA | 200 nA | |
| ±10 mA | 1 nA | 0.03% + 900 nA | 20 nA | |
| ±1 mA | 100 pA | 0.03% + 90 nA | 2 nA | |
| ±100 μA | 10 pA | 0.03% + 9 nA | 200 pA | |
| ±10 μA | 1 pA | 0.03% +1 nA | 30 pA | |
| ±1 μA | 100 fA | 0.03% + 200 pA | 5 pA | |
| 温度係数 | ±(0.15 × 精度仕様)/°C (0℃-18℃、28℃-50℃) | |||
| 時間の設定 | <100 μs（標準値） | |||
| オーバーショート | <±0.1%(標準値、Normal、ステップは範囲の10%から90%、測定範囲内の最大値、抵抗負荷テスト) | |||
1、10A の測定範囲はパルスモードにのみ対応しており、精度は標準値パルス仕様(4線式)
| プログラミング可能な最小パルス幅 | 100 μs |
| パルス幅プログラミング分解能 | 1 μs |
| パルス幅プログラミング精度 | ±10 μs |
| パルス幅ジッター | 2 μs |
| パルス幅の定義 | 次の図に示すように、10 %の先頭から90 %の立ち下がり区間までの時間 |
| パルス技術仕様 | 最大電流制限 | 最大パルス幅 | 最大デューティ比 |
| 1 | 0.4 A/50 V | DC、無制限 | 100% |
| 2 | 1 A/20 V | DC、無制限 | 100% |
| 3 | 3 A/6.6 V | DC、無制限 | 100% |
| 4 | 10 A/20 V | 1 ms | 5% |
| 5 | 10 A/50 V | 400 μs | 2% |
パルス立ち上がり時間(4線式)
| 出力 | 最大出力 | 標準立ち上がり時間 1 | 標準安定時間2 | テスト負荷 |
|
電圧源 |
50 V | 250 μs | 400 μs | 無負荷 |
| 5 V | 40 μs | 100 μs | 無負荷 | |
|
電流源 |
10 A~100 μA | 90 μs | 250 μs | 全負荷時3 |
| 10 μA | 120 μs | 300 μs | 全負荷時3 | |
| 1 μA | 300 μs | 600 μs | 全負荷時3 |
1、パルスの先頭が10％から90％までの所要時間。
2、パルスが最終値まであと1％までの所要時間。
3、テスト条件：normal 純抵抗全負荷電圧が6Vに上昇
出力セットアップ時間
|
出力 |
測定範囲 |
標準出力セットアップ時間1 |
テスト条件 |
||
| Fast2,3 | Normal2 | Slow2 | |||
|
電圧源 |
60V | <120μs | <300μs | <1ms |
開回路条件下で、最終値まであと0.1％以内に達するまでの所要時間。 |
| 6V | <30μs | <50μs | <300μs | ||
| 0.6V | <30μs | <50μs | <300μs | ||
|
電流源 |
3A~100 μA |
<50μs | <100μs | <0.8ms |
Normal条件で全負荷の場合、電圧出力は6Vに達します。最終値まであと0.1％以内に達するまでの(3Aの範囲の場合は0.3％)所要時間。ステップは範囲の10％から90％になります。 |
| 10μA | <100μs | <150μs | <0.8ms | ||
| 1uA | <300μs | <400μs | <1ms | ||
1、ユーザーは自分で負荷特性に応じてPIDパラメータを調整して、適切なセットアップ時間や安定性を得ることができます。
2.出力変換スルーレート:
Fast、Normal、Slow。
3、Fastモードは、異なる測定範囲や負荷条件で出力する場合、大きなオーバーシュートを引き起こす可能性があり、オーバーシュートに対する感度が高い機器にはnormalモードまたはSlowモードをお勧めします。
サンプリングレートとNPLCの設定
| 設定方法 | 設定範囲 |
| NPLC | 0.00005 PLC ~ 10 PLC |
| Sampling Rate | 5 sps ~ 1 Msps |
測定精度のディレーティング(PLC<1)
誤差が増大する測定範囲のパーセンテージ
|
PLC |
測定範囲 | ||||||
| 600mV | 6V | 60V | 1μA | 10μA |
100μA
100mAまで
|
1Aから3Aまで | |
| 0.1 | 0.02% | 0.01% | 0.01% | 0.02% | 0.01% | 0.01% | 0.01% |
| 0.01 | 0.30% | 0.03% | 0.02% | 0.20% | 0.04% | 0.02% | 0.02% |
| 0.001 | 3.20% | 0.40% | 0.10% | 2.50% | 0.40% | 0.03% | 0.03% |
ほかの特徴
| センサモード | 2線式または4線式 (リモートセンシング) 接続 |
| 最大のセンサリード抵抗 | 1 kΩ(定格精度) |
| リモートセンシング出力側とセンシング側間の最大電圧 | 2 V |
| 出力コネクタの最大出力電圧 | >フルスケールの105%（60Vの測定範囲で>60.5V） |
| SWEEP掃引 | 掃引間隔は20μsから16sまで設定可能で、単掃引は最大8Kポイントに設定可能 |
| 測定範囲自動設定 | 当該機能を搭載しています。オーバーシュートに対する感度が高い機器には測定範囲を切り替える前に出力をオフにすることをおすすめ |
| 遅延測定（SOURCE DELAY） | 当該機能を搭載しています。より正確な値を測定するために、適切なSOURCE DELAYを設定することをお勧めします |
| 過熱保護 | 内部温度が高すぎると検出される場合、出力をオフにし、温度が65℃以下に下回った後に動作を再開 |
| その他の出力異常保護 | 電源を切って再起動すれば、動作の再開またはハードウェアの損傷の修復が可能 |
環境仕様
| 環境 | 屋内施設で使用 |
| 動作 | 0°C から +50°Cまで、30 %から70 %の相対湿度で結露なし |
| 保存 | -30°Cから70°Cまで、10%から90 %の相対湿度で凝縮なし |
| 高度 | 動作高度: 0 mから2000 m、保存高度: 0 mから4600 m |
| 予熱 | 1時間 |
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