Waferアクセプタンステスト
WAT6600
WATパラレルWaferアクセプタンステストシステム
WAT6600はパラレルWaferアクセプタンステストシステムで、 システム全体に最大24個のSMUを搭載できます。独自のSMU技術を活用し、安定した性能を提供し、納期通りに納入可能で、半導体業界のWATテストに適しています。
特徴
標準ピン数
標準24 pinに対応
柔軟にピン数を設定可能
ピン数=SMU数、全Pin並行テストに対応
自社開発のSMUボード
聯訊儀器自社開発のHRSMUに対応
柔軟にボードを設定可能
ボードの種類と数を柔軟に設定・選択できます
漏れ電流
Probe Card付きの機械騒音 (機械漏れ電流) は500fA未満
高精度
電流測定精度<1 pA、分解能1 fA、最大範囲1 A。
高い適応性と完全な互換性
Keysight 4080シリーズのプローブカードを使用可能で、
ptSemight ソフトウェア環境
ソフトウェアはすべてのEAP、SECS/GEM自動化規格プロトコルを適合
| システム機能 | |
| パラメータ | 仕様 |
| システムピン数 | 3-48 pin |
| 最小電圧分解能 | 100 nV |
| 最小電流分解能 | 1 fA |
| サンプリングレート | 1 M/s |
| 最小電流測定精度 | 1 pA |
| 最小電圧測定精度 | 50 μV |
| 漏れ電流 | <500 fA |
| 容量範囲 | 100 nF |
| 電気容量測定精度 | 1% |
|
主な測定機能 |
Id-Vd、Id-Vg、Vth、BV、Ig、Ioff、Gm |
| MIM_CAP、C&G | |
| Ic-Vc、BETA、BV | |
| Ron、R_tlm、Rsh_van | |
| Frequency | |
| Pulse | |
| Spot、Sweep、Search、Kelvin | |
| HCI、BTI/NBTI、TDDB | |
| DUTタイプ | すべてのWATテストProcess partとDevice part、MOS、Field、BJT、Diode、recitor、Capacitor、etc. |
| プローブカードアダプター | Keysight 4080シリーズプローブカードと互換性があります |
| 工場自動化 | EAP SECS/GEM標準自動化テストプロセスを実現し、E5 E30 E37 E39 E40 E87 E90 E94 E84などのプロトコルを適合 |
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