通信機器-WAT-半導体パラメータ試験-シリアル-苏州联讯仪器股份有限公司

特徴

多種類のWaferのWATテストに対応
Si/GaN/SiCに対応
柔軟にピン数を設定可能
最大48Pinまでに対応、ピン数を柔軟に設定可能
自社開発SMU
業務用または聯訊儀器自社開発のSMUボードに基づく
高精度
電流測定精度<1pA、分解能1fA、最大範囲1A;
電圧測定精度<50μV、分解能100nV、最大範囲200V
電気容量テスト周波数
1kHzから1MHz、1fFから100nFまでの測定範囲
すべての主流のProberに対応
TEL P8XL/P12/P12XL/Precio XL、TSK UF200/UF3000/UF3000EXなど
高い適応性と完全な互換性
Keysight 4070/4080用のプローブカードを使用可能
テストプログラムとAlgoアルゴリズムとの互換性もあります
効率的なptSemightソフトウェア環境
ソフトウェアはSECS/GEMに対応し、ユーザーのEAPにアクセスできます

システム機能

パラメータ/設定	機能
システムピン数	3 - 48 pin
SMU数/SPGU数	3-8個/1-4個
標準SMU	200 V/1 A
Chuck Bias SMU	200 V/1 A
マトリックススイッチャー	14x48、<100 fA漏れ電流
最小電圧分解能	100 nV
最小電流分解能	1 fA
サンプリングレート	1 M/s
最小電流測定精度	1 pA
最小電圧測定精度	50 μV
漏れ電流	<1 pA
容量範囲	100 nF
電気容量測定精度	1%
主な測定項目	Id-Vd、Id-Vg、Vth、BV、Ig、Ioff、Gm
	MIM_CAP、C & G
	Ic-Vc、BETA、BV
	Ron、R_tlm、Rsh_van
	Spot、Sweep、Search
	Kelvin & Non-Kelvin
	Differential Voltage
	Frequency
	HCI、BTI/NBTI、TDDB
DUTタイプ	MOSFET、BJT、Diode、Resistor、Capacitorなど
プローブカードアダプター	Keysight 4070/4080シリーズのプローブカードと互換性があります
工場自動化	SECS/GEM (E5/E30/E37/E84/E90/E94)

DC測定仕様

電圧ソースメーター仕様
電圧精度	測定範囲	分解能	精度(1年)±(%読み取り値+バイアス)	雑音の標準値（有効値）0.1 Hz-10 Hz
	±200 V	100 μV	0.03%+10 mV	400 μV
	±40 V	10 μV	0.03%+2 mV	100 μV
	±20 V	10 μV	0.03%+1 mV	50 μV
	±2 V	1 μV	0.03%+100 μV	10 μV
	±0.6 V	100 nV	0.03%+50 μV	2 μV
温度係数	±(0.15 × 精度仕様)/℃ (0℃-18℃、28℃-50℃)
時間の設定	<100 μs(標準値、Normal、ステップは範囲の10%から90%)
オーバーショート	<±0.1%(標準値、測定範囲内の最大値、抵抗負荷テスト)

電流ソースメーター仕様
電流精度	測定範囲	分解能	精度(1年)±(%読み取り値+バイアス)	雑音の標準値（有効値）0.1 Hz-10 Hz
	±1 A	100 nA	0.03% + 90 μA	3 μA
	±100 mA	10 nA	0.03% + 9 μA	200 nA
	±10 mA	1 nA	0.03% + 900 nA	20 nA
	±1 mA	100 pA	0.03% + 90 nA	2 nA
	±100 μA	10 pA	0.03% + 9 nA	200 pA
	±1 μA	100 fA	0.03% + 200 pA	10 pA
	±10 nA	10 fA	0.06% +9 pA	300 fA
	±1 nA	1 fA	0.1% +3 pA	60 fA
	±100 pA	1 fA	0.3% +1 pA	30 fA
温度係数	±(0.15 × 精度仕様)/℃ (0℃-18℃、28℃-50℃)
時間の設定	<100 μs(標準値、Normal、ステップは範囲の10%から90%)
オーバーショート	<±0.1%(標準値、測定範囲内の最大値、抵抗負荷テスト)

精度測定条件:温度 23±5度、湿度35%-60%、システム稼働時間1時間、積分時間はLONG(1nA未満)

電気容量測定仕様：

周波数	C 測定範囲	電気容量測定精度	コンダクタンス測定精度
1 MHz
	1 nF	2.0%	2.0%
	100 pF	1.0%	2.0%
	10 pF	1.0%	2.0%
100 kHz
	1 nF	0.5%	1.0%
	100 pF	0.5%	1.0%
	10 pF	0.5%	1.0%
10 kHz
	1 nF	0.3%	0.5%
	100 pF	0.3%	0.5%
	10 pF	0.5%	0.5%

Note:

*Cm は電気容量測定値、Gmはコンダクタンス測定値、Fは周波数
*Dissipation D = Gm/(2*F*Cm)
*電気容量測定はKeysight E4980ALを使用。測定条件: Vrms=30mV、bias=0V、Integration time=LONG、AVG=1

共通の仕様とソフトウェア

パラメータ	仕様
動作温度	18-28 ℃
保存温度	-10-50 ℃
動作湿度	35-60%
保存湿度	＜90%
動作高度	0-2 km
供給電力	200-240 Vac、30 A、50-60 Hz
電磁両立性	EUのEMC指令の要求を満たします
セキュリティ	EUの安全基準を満たします
認証	SEMI S2/S8, F47
テストラックサイズ(mm)	6008001850
テストヘッドサイズ(mm)	650765480
テストラック重量	約 210 kg
場所要件	4.6メートル x 3メートル
対応するプローブステーション	TEL/TSK業界規格のプローブステーション
プローブカード	Keysight 4070/4080シリーズ用のプローブカードと互換性があります
ソフトウェアシステム	Windows 10 Enterprise LTSC
Algo言語	C++とPython
ptSEMIGHTソフトウェア機能	テスト計画の編集、テスト条件とパラメータSpecの設定、Waferの説明、プローブステーションの制御、Test API、測定データベース、テストケースの作成、MESインターフェイス、SECS/GEM、EAPアクセス、テストデータの管理と分析、キャリブレーション・メンテナンスと故障診断

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