通信機器-WAT-半導体パラメータ試験-シリアル-高圧半導体-苏州联讯仪器股份有限公司

Waferアクセプタンステスト

WAT6300

WATシリアル高電圧Waferアクセプタンステストシステム

WAT6300はシリアル高電圧Waferアクセプタンステストシステムで、ピン数を柔軟に設定でき、最大24Pinに対応し、主流のWATプログラムプローブカード、アプリケーションなどと互換性があります。

プロトタイプの申し込み

特徴

高精度
電流測定精度< 10pA、分解能10fA、低電圧最大範囲1A，高電圧最大範囲120mA。電圧測定精度<100μV、分解能100nV、最大範囲200V
多種類のWaferのWATテストに対応
Si/GaN/SiCに対応
柔軟にピン数を設定可能
最大24Pinまでに対応、ピン数を柔軟に設定可能
自社開発SMU
業務用または聯訊儀器自社開発のSMUボードに基づく
電気容量テスト周波数
1kHzから1MHz、1fFから100nFまでの測定範囲
すべての主流のProberに対応
TEL P8XL/P12/P12XL/Precio XL, TSK UF200/UF3000/UF3000EX,など.
高い適応性と完全な互換性
Keysight 4070/4080用のプローブカードを使用可能
テストプログラムとAlgoアルゴリズムとの互換性もあります
効率的なptSemightソフトウェア環境
ソフトウェアはSECS/GEMに対応し、ユーザーのEAPにアクセスできます

パラメータ/設定	機能
システムピン数	3 - 24 pin
SMU数	3つ
標準SMU	200 V/1 A
Chuck Bias SMU	3500 V/120mA
マトリックススイッチャー	低電圧:14x36、<100 fA漏れ電流(低リークチャンネル)高電圧:計1,100 pA漏れ電流
最小電圧分解能	100 nV
最小電流分解能	1 fA
最大サンプリングレート	>1 M/s
最小電流測定精度	1 pA
最小電圧測定精度	100 μV
標準漏れ電流	<1 pA
容量範囲	100 nF
電気容量測定精度	0.5%
主な測定項目	Id-Vd、Id-Vg、Vth、BV、Ig、Ioff、Gm
	MIM_CAP、C & G
	Ic-Vc、BETA、BV
	Ron、R_tlm、Rsh_van
	Spot、Sweep、Search
	Kelvin & Non-Kelvin
	Differential Voltage
	Frequency
	HCI、BTI/NBTI、TDDB
DUTタイプ	MOSFET、BJT、Diode、Resistor、Capacitorなど
プローブカードアダプター	Keysight 4070/4080シリーズのプローブカードと互換性があります
工場自動化	SECS/GEM (E5/E30/E37/E84/E90/E94)

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