ベンチトップ型高電圧ソースメーター
S3030F
高電圧、高出力、抵抗の大きなSMU
特徴
広い測定範囲
測定範囲:±3500 V、±120 mA(DC)、180 W
高い分解能
最小測定分解能は1 fA/100 uVに達します
サンプリングレートが高い
最大1MのADCサンプリングレートに対応
しきい値トリガー
ハードウェアによる高速IOは、しきい値トリガーを実現し、出力測定値とユーザーシステムの効率的なインタラクションを実現機能と利点
DC I-V出力能力
電圧源仕様：
|
電圧設定精度 |
測定範囲 |
分解能の設定 |
精度(1年) ±(%読み取り値+ バイアス) |
雑音の標準値 (有効値) 0.1 Hz-10Hz |
|
±3500 V |
40 mV |
0.02%+600 mV |
50 mV |
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±2500 V |
30 mV |
0.02%+450 mV |
40 mV |
|
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±1500 V |
20 mV |
0.02%+300 mV |
25 mV |
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|
±600 V |
7mV |
0.02%+120 mV |
10 mV |
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|
±200 V |
3mV |
0.02%+40 mV |
3 mV |
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温度係数 |
±(0.15 × 精度仕様)/°C (0℃-18 ℃、28℃-50℃) |
|||
|
時間の設定 |
<5 ms（標準値） |
|||
|
オーバーショート |
<±1% (標準値、Normal、ステップは範囲の 10% から 90%、測定範囲内の最大値、抵抗負荷テスト) |
|||
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ノイズ10Hz-20MHz |
1500V電圧源、120 mA抵抗負荷、<200mV RMS |
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電流源仕様：
|
電流設定精度 |
測定範囲 |
分解能の設定 |
精度(1年) ±(% 読み取り値+バイアス) |
雑音の標準値（有効値）0.1Hz-10Hz |
|
±120 mA1 |
3 uA |
0.02% + 35 μA |
120 uA |
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|
±20 mA |
400 nA |
0.02% + 15 μA |
20 uA |
|
|
±10 mA |
200 nA |
0.02% + 3 uA |
10 uA |
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|
±1 mA |
20 nA |
0.02% + 300 nA |
1 uA |
|
|
±100 μA |
2 nA |
0.02% + 30 nA |
100 nA |
|
|
±10 μA |
200 pA |
0.03% + 5 nA |
10 nA |
|
|
±1 μA |
20 pA |
0.03% + 1 nA |
1 nA |
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|
±100 nA |
2 pA |
0.2% +100 pA+Vo x 100 fA |
100 pA |
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|
±10 nA |
200 fA |
0.2% + 10 pA+ Vo x 10 fA |
10 pA |
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|
±1 nA |
20 fA |
0.2% +5 pA+Vo x 1 fA |
1 pA |
|
|
温度係数 |
±(0.15 × 精度仕様)/°C (0℃-18 ℃、28℃-50℃) |
|||
|
時間の設定 |
<10 ms（標準値） |
|||
|
オーバーショート |
<±1% (標準値、Normal、ステップは範囲の 10% から 90%、測定範囲内の最大値、抵抗負荷テスト) |
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1、120mA測定範囲は上限1500Vの電圧測定範囲にのみ対応
電圧計仕様：
|
電圧測定精度 |
測定範囲 |
表示分解能 |
精度(1年)±(%読み取り値+バイアス) |
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±3500 V |
1 mV |
0.02%+600 mV |
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|
±2500 V |
1mV |
0.02%+450 mV |
|
|
±1500 V |
1 mV |
0.02%+300 mV |
|
|
±600 V |
100 uV |
0.02%+120 mV |
|
|
±200 V |
100 uV |
0.02%+40 mV |
|
|
温度係数 |
±(0.15 × 精度仕様)/°C (0℃-18 ℃、28℃-50℃) |
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電流計仕様：
電流測定精度 |
測定範囲 |
表示分解能 |
精度(1年） ±(% 読み取り値+バイアス) |
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±120 mA1 |
100 nA |
0.02% + 35 μA |
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|
±20 mA |
10 nA |
0.02% + 15 μA |
|
|
±10 mA |
10 nA |
0.02% + 3 uA |
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|
±1 mA |
1 nA |
0.02% + 300 nA |
|
|
±100 μA |
100 pA |
0.02% + 30 nA |
|
|
±10 μA |
10 pA |
0.03% + 5 nA |
|
|
±1 μA |
1 pA |
0.03% + 1 nA |
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±100 nA |
100 fA |
0.2% +100 pA+Vo x 100 fA |
|
|
±10 nA |
10 fA |
0.2% + 10 pA+ Vo x 10 fA |
|
|
±1 nA |
1 fA |
0.2% +5 pA+Vo x 1 fA |
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温度係数 |
±(0.15 × 精度仕様)/°C (0℃-18 ℃、28℃-50℃) |
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1、120mA測定範囲は上限1500Vの電圧測定範囲にのみ対応
絶縁抵抗計仕様(4線式)
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抵抗測定精度 |
測定範囲 |
表示分解能 |
デフォルトの測定電流 |
典型的な精度(1年) ±(%読み取り値+バイアス) |
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100 Ω |
100 μΩ |
100 mA |
0.075% + 400 mΩ |
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1 kΩ |
1 mΩ |
10 mA |
0.07% + 4 Ω |
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10 kΩ |
10 mΩ |
1 mA |
0.07% + 40 Ω |
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100 kΩ |
100 mΩ |
100 μA |
0.07% + 400 Ω |
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|
1 MΩ |
1 Ω |
10 μA |
0.10% + 4 kΩ |
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|
10 MΩ |
10 Ω |
1 μA |
0.15% + 40 kΩ |
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100 MΩ |
100 Ω |
100 nA |
0.32% + 400 kΩ |
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|
1 GΩ |
1 KΩ |
10 nA |
0.32% + 4 MΩ |
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10 GΩ |
10 KΩ |
1 nA |
0.72% + 40 MΩ |
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温度係数 |
±(0.15 × 精度仕様)/℃(0℃-18℃、28℃-50℃) |
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手動電流源抵抗測定 (4線式) |
総合誤差=測定電圧/電流源設定電流=抵抗の読み取り値x(電圧源測定範囲のゲイン誤差率+電流計測定範囲のゲイン誤差率+電流源測定範囲のバイアス/設定電流)+(電圧源測定範囲バイアス/設定電流値) 例:電流源設定電流=10mA 電圧測定測定範囲=200V 総合誤差=(0.02%+0.02%+3μA/10ma)+(40mV/10mA) ≈0.07%+4Ω |
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注:測定電圧=デフォルト測定電流*測定対象の抵抗値≦10.5V
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