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waferレベル信頼性評価システム

WLR0100

waferレベル信頼性評価システム


聯訊機器Waferレベル信頼性試験テストシステムWLR0100は、半導体デバイスと半導体Waferに対して、それぞれ異なるパッケージングレベルの信頼性テストを行うことができます。デバイスレベルのテストでは、2つの温度帯の設定が可能で、16個のバーンインボードがあり、バーンインボードごとは32チャンネルの独立サンプリングバーンインを備えており、同時に最大512チャンネルの製品信頼性テストが行えます。ウェハーレベルのテストでは、Waferサイズ、プローブ数がカスタマイズ可能で、チャンネル数が拡張可能です。

特徴

  • 電圧範囲

    0-200V ソフトウェアで設定可能
  • チャンネルがハードウェアでそれぞれ電流制御

    0-10mA ソフトウェアで設定可能
  • 電流サンプリング速度をモニタリング

    最小 10nA の精度
    ボードごとに32個の製品ポーリングが1秒でスキャン
  • 独立の2つの温度帯

    最大200℃度に対応
  • ボードごとのチャンネル

    32 チャンネル
  • 独立したチャンネル条件

    精度と測定範囲の要求を満たすことができる上、チャンネルがそれぞれ独立しています
  • 製品異常保護機能

    過電流過電圧保護機能を有し、保護しきい値は設定可能で、過電流保護応答時間<100ns、オーバーシュート<5%
  • バーンインオーブンには窒素ガスの充填による防護が可能

機能と利点

  • DIPパッケージングのBurn-in Board

    Burn-in Boardセットはゴールドフィンガーの構造を採用していて、下図は代表的なDIPパッケージングBurn-in Board
  • 聯訊WLR0100テスティングソフトウェアプラットフォームは構成を変更可能なプラットフォームで、以下の機能が含まれてます。

    オンラインで製品の事前チェック機能を有し、ユーザーがプラグとプルの場合の接続が良好かどうかを検出できます。
    バーンイン信頼性タスクの柔軟な編集と設定が可能で、信頼性テストを行うことができます。
    直感的なデータ表示とデータ分析機能を備えています。
    ユーザー権限の管理が可能で、エンジニア、技術者、オペレーターの3つの権限レベルに分けます。


技術仕様

DUT対応 DIP or TO247 Burn-in Board
テスト温度範囲 (環境温度+20)℃~+200℃










電気的パラメータ

テストパラメータ テストの生データ、結果の計算、システム実行の詳細ログの保存
Channel 最大384 ch
ドライバーボード 独立した32 chの電流・電圧モニター
システムドライバーボード 12枚のドライバーボードはそれぞれ独立して、電圧調節・電流制御を可能にします
Vthスキャンテスト Range:0V~200V ,Accuracy:0.5%RD±500mV;
飽和電流テスト ≤10mA



漏れ電流範囲と精度

Range:1mA~10mA ,Accuracy:0.5%RD±50uA;
Range:100uA-1mA ,Accuracy:0.5%RD±500nA;
Range:10uA-100uA ,Accuracy:0.5%RD±50nA;
Range:1uA-10uA ,Accuracy:0.5%RD±5nA;
Range:0nA-1uA ,Accuracy:0.5%RD±500pA;
電圧源の範囲と精度 Range:0V~20V ,Accuracy:0.5%RD±50mV;
Range:20V~200V ,Accuracy:0.5%RD±500mV;
データモニタリング 電圧、電流のモニタリングとPCクライアントへのアップロードに対応し、テストの全過程で各テスト
ステーションのパラメーターを測定・記録し、出力曲線とExcelデータ報告書を作成します。







温度パラメータ

テスト環境条件 環境温度が+25℃ 、テストチャンバー内にサンプルがなく換気条件なし
テスト方法 GB/T 5170.2-2017 温度試験設備
温度範囲 (環境温度+20)℃~+200℃
温度変動 ≦100℃ 時: 0.4℃ (GB/T 5170.2-1996で表示する場合は ± 0.2 ℃)
≦ 200 ℃ 時: 0.4 ℃ (GB/T 5170.2-1996で表示する場合は ± 0.2 ℃)
温度偏差 (無負荷) ≤100℃時:±1.5℃;≤200℃時:±2.0℃
温度偏差 (全負荷) ≤100℃時:±2.0℃;≤200℃時:±3.0℃






ガスパラメーター

流体 N2、CO2(常温、ドライガス)



流体圧力

ガス圧力要件:
≥1MPa (10kg/cm²)(101、201、301 モデル);
≥1.5MPa (15kg/cm²)(401 モデル)、
バルブ入口側の許容最大圧力:
2.0kg/cm²(101、201、301 モデル)、
5.0kg/cm²(401 モデル)
フロー 最大フロー:30L/min(101、201、301 モデル);250 L /min(401 モデル)
エアコネクション エアコネクション要件: クイック挿入式直通エアチューブ、スペック φ10mm

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