waferレベル信頼性評価システム
WLR0010
高温通電信頼性試験システム
waferレベル信頼性評価システム WLR0010 は半導体ウェーハレベルの高温通電信頼性試験システムで、製品はJEDEC 規格によってデバイスのゲート酸化膜の信頼性を高速にテストできます。また、マルチモード、超並列テストにより、テスト期間とコストが大幅に削減できます。
特徴
高圧テストに対応
最大3500V
大量のテストの並列処理が可能
最大768DUTs
マルチチャンネル測定
異なるテストモードの自動切り替えと自由な組み合わせを実現
ウェハーレベル、パッケージングレベルのテストに対応
プラットフォームの一元化
JEDECデバイスの依頼性テストの基準に適合
On-the-flyテスト
及びデータ分析ソフトウェアに対応
異なるパッケージングデバイスに対応
Boardとウェハープローブカードを交換で対応可能
温度と電気ストレスの調整が可能
機能
技術仕様
|
テスト項目 |
TDDB/HCI/NBTI/EM |
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並列テストの数 |
システム |
768 DUTs（Max） |
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シングルボード |
32 DUTs（Max） |
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|
シングルボードソース |
30 Source |
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|
電圧 |
±(20V~3500V) |
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電圧精度 |
±20V |
0.2%RD±5mV |
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±200V |
0.2%RD±50mV |
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±2000 V |
0.2%RD±200mV |
|
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±3500 V |
0.2%RD±300mV |
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|
電圧分解能 |
10 μV |
|
|
電流精度 |
10mA~100mA |
0.2%RD±500μA |
|
1mA~10mA |
0.2%RD±50μA |
|
|
100μA~1mA |
0.2%RD±500nA |
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|
10μA~100μA |
0.2%RD±50nA |
|
|
1μA~10μA |
0.2%RD±5nA |
|
|
100nA~1μA |
0.2%RD±500pA |
|
|
10nA~100nA |
0.2%RD±50pA |
|
|
1nA~10nA |
0.2%RD±5pA |
|
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10pA~1nA |
0.2%RD±200fA |
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電流分解能 |
10 fA |
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温度範囲 |
(RT+10℃)～+200℃ (TDDB/HCI/NBTI) |
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その他 |
Support On-the-fly Test Support Vth Scan:0~200V Support Vramp Test Over Voltage/Current monitor |
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精度測定条件:温度 23±5度、湿度35%-60%、システム稼働時間1時間、積分時間はLONG（1nA未満）
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電圧ソースメーター仕様 |
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電圧精度 |
測定範囲 |
分解能 |
精度(1年) ±(% 読み取り値+バイアス) |
雑音の標準値 (有効値) 0.1 Hz-10Hz |
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高圧電源 |
±3500 V |
40 mV |
0.02%+600 mV |
50 mV |
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±1500 V |
20 mV |
0.02%+300 mV |
25 mV |
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±600 V |
7mV |
0.02%+120 mV |
10 mV |
||
|
低圧電源 |
±200 V |
100 μV |
0.02% + 40 mV |
1mV |
|
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±20 V |
10 μV |
0.02% + 5 mV |
200μV |
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±6 V |
1 μV |
0.02% + 500 μV |
60μV |
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温度係数 |
±(0.15 × 精度仕様)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃) |
||||
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時間の設定 |
<±1% (標準値 Normal、ステッピングは範囲の 10% から 90%まで、測定範囲内の最大値、抵抗負荷テスト) |
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|
オーバーショート |
<±0.1%(標準値、測定範囲内の最大値、抵抗負荷テスト) |
||||
|
電流ソースメーター仕様 |
||||
|
電流精度 |
測定範囲 |
分解能 |
精度(1年) ±(% 読み取り値+バイアス) |
雑音の標準値 (有効値) 0.1 Hz-10Hz |
|
±15 mA |
10 nA |
0.02% +2 μA |
±15 mA |
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|
±1.5 mA |
1 nA |
0.2% + 150 nA |
±1.5 mA |
|
|
±150 μA |
100 pA |
0.2% + 20 nA |
±150 μA |
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|
±15 μA |
10 pA |
0.2% +3 nA |
±15 μA |
|
|
±1.5 μA |
1 pA |
0.3% + 600 pA |
±1.5 μA |
|
|
±150 nA |
100fA |
0.5% + 300 pA |
±150 nA |
|
|
±10 nA |
10 fA |
0.5% + 5 pA |
1 pA |
|
|
温度係数 |
±(0.15×精度仕様)/°C(0℃-18℃、28℃-50℃) |
|||
|
時間の設定 |
<±1% (標準値、Normal、ステップは範囲の10%から90%) |
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|
オーバーショート |
<±0.1%(標準値、測定範囲内の最大値、抵抗負荷テスト) |
|||
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