waferレベル信頼性評価システム
WLR0010
waferレベル信頼性評価システム WLR0010
聯訊儀器 WLR0010マルチサイトウエハレベル信頼性テストシステムは、JEDEC 信頼性テスト標準に基づいて開発された信頼性テストシステムで、主にテスト機とプローブステーションで構成されています。TDDB/HCI/NBTIなどの機能テストを実現し、テストシステムの温度は最大 200℃に達します。また、アルゴリズムモデルを通じてデータを分析し、製品のプロセス技術の欠陥を分析します。システムの各チャネルには独立した過電流保護機能が装備されており、測定対象デバイスの安全を確保します。同時に、顧客のEAPシステムと接続し、生産データの管理と自動生成 MAPデータを実現し、ユーザーが深い性能分析と品質管理を行えるようにします。
特徴
カスタムの半自動プローブステーションを採用する
4-12インチのウェーハをサポート可能
Multi-siteテストをサポートする
最高で16サイトを同時にテストできます
窒素ガス保護によるウェハの酸化防止
非保圧式
曲線のリアルタイム表示
ウェーハMAP 図とテスト曲線をリアルタイムで表示できます
聯訊 WLRソフトウェアテストプラットフォーム
TDDB/HCI/NBTI/HTGB/Vthなどのテストモードの自動テストとデータ分析を実現できます
自研源表
採用聯訊高精度 SMU 源表SMU 指標
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電圧源指標 |
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パラメータ |
量程 |
解像度を設定する |
精度 (1 年)± (% 読数 + 偏差) |
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電圧設定範囲および 精度 |
±200V |
2 mV |
0.1%+21 mV |
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±150V |
1.5 mV |
0.1%+16 mV |
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|
±100V |
1 mV |
0.1%+11 mV |
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|
±50V |
500 μV |
0.1%+6 mV |
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|
±20V |
200 μV |
0.1%+3 mV |
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|
±10V |
100 μV |
0.1%+2 mV |
|
温度係数 |
±(0.15 × accuracy)/℃ (0℃-18℃,28℃-50℃) |
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|
電圧計指標 |
|||
|
電圧測定精度 |
量程 |
表示解像度 |
精度 (1 年)± (% 読数 + 偏差) |
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電圧測定精度 |
±200V |
25 μV |
0.01% + 20 mV |
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±150V |
16.7 μV |
0.01% + 15 mV |
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±100V |
12.5 μV |
0.01% + 10 mV |
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±50V |
6.25 μV |
0.01% + 5 mV |
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|
±20V |
2.5 μV |
0.01% + 2 mV |
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±10V |
1.25 μV |
0.01% + 1 mV |
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温度係数 |
±(0.15 × accuracy)/℃ (0℃-18℃,28℃-50℃) |
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電流計指標 |
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パラメータ |
量程 |
表示解像度 |
精度 (1 年)± (% 読数 + 偏差) |
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電流測定精度 |
±200 mA |
25 nA |
0.05%+20 μA |
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±20 mA |
2.5 nA |
0.05%+2 μA |
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±2 mA |
250 pA |
0.05%+200 nA |
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|
±200 μA |
25 pA |
0.05%+20 nA |
|
|
±20 μA |
2.5 pA |
0.05%+2 nA |
|
|
±2 μA |
250 fA |
0.05%+200 pA |
|
|
±200 nA |
25 fA |
0.05%+20 pA |
|
|
±20 nA |
5 fA |
0.05%+5 pA |
|
|
±2 nA |
0.5 fA |
0.05%+3 pA |
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温度係数 |
±(0.15 × accuracy)/℃ (0℃-18℃,28℃-50℃) |
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探針台
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パラメータ |
指標 |
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探針台 |
晶円サイズ |
4～12 inch |
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晶円の厚さ |
100-2000μm |
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チャック耐圧 |
500V（Max.） |
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チャック電流 |
50A（Max.） |
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X-Y 軸ストローク |
350mm*365mm |
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Z 軸ストローク |
≥15mm |
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温度範囲 |
25℃～200℃ |
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温度均一性 |
25～100℃≤±1℃ 100～200℃≤±1%; |
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昇降温速率 |
+25℃ to +200℃ : 30min +200℃ to +25℃ : 50min |
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探針カード |
顧客のニーズに応じて構成する |
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