Waferレベルバーンインテスター
AL3500A
全自動Waferローディング・アンローディングシステム
AL3500Aは、蘇州聯訊の高電圧WaferバーンインシステムWLR3500と組み合わせてローディング・アンローディング作業を行う付帯設備です。この設備は、Waferの位置合わせと治具の自動据付において、オペレータをサポートすることができます。
特徴
対応製品
4-6インチWafer自動Load/Unload
数量
Waferの数量≦25pcs
ローディング速度
<5 min/pcs
プローブアライメントの精度
±25 um機能と利点
システムアーキテクチャ
| 製品の特徴 | パッケージング製品 | 4インチ、6インチのwafer |
| システムサイズ | 1500 mm(W)×1800 mm(H)×1400 mm(D) | |
| システムの消費電力 | 3 kW | |
| 技術仕様 | Wafer数 | ≤25 pcs |
| 治具数 | ≤6 pcs | |
| ローディング速度 | <5 min/pcs | |
| プローブアライメントの精度 | ±25 um |
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