ソースのセトリングには一定の時間が必要なため、SMUでは、ソース出力が安定してから測定を開始するための待ち時間を設定する必要があります。これにより、より正確な測定結果を得ることができます。この待ち時間を**ソースディレイ（Source Delay）**と呼びます。

ソースディレイは、ソースのセトリング時間より長く設定する必要があります（必要な時間は、出力レベルや負荷特性によって異なります）。設定時間が短すぎると、ソース出力が十分に安定する前にSMUが測定を開始するため、測定結果に大きな誤差が生じ、測定値が実際より低くなる可能性があります。

NPLC（電源周波数周期数）は、SMU内部のADCにおける積分時間（Integration/Aperture Time）を表す基準単位です。1 NPLCは商用電源の1周期に相当し、例えば50 Hzでは20 msです。一般に、NPLCの設定値を大きくするほど測定結果の再現性は向上しますが、その分、測定時間も長くなります。

50 HzのAC電源環境では、1 PLC = (1/50) s = 20 msです。60 HzのAC電源環境では、1 PLC = (1/60) s = 16.667 msです。

測定への影響：電源回路から発生する放射ノイズやその他のノイズが測定結果に与える影響を低減するため、特に1 µA以下の微小電流を測定する場合は、通常、NPLCを単位としてアパーチャ時間を設定し、より高精度な測定結果を得られるようにします。

設定しない場合は、システムのデフォルト値が適用されます。設定値が不適切、または現在の測定環境におけるノイズ条件と合っていない場合、適切な積分時間で測定できず、測定値が不正確になる可能性があります。

コンプライアンス制限（電圧コンプライアンス／電流コンプライアンスなど）： 電流源モードでは電圧コンプライアンスを設定できます。この場合、電流源の出力電圧は設定した電圧コンプライアンスを超えません。コンプライアンス値に達すると、電流はそれ以上増加しません。同様に、電圧源モードでは電流コンプライアンスを設定できます。（設定しない場合は、システムのデフォルト値が適用されます。）

過電圧保護（OVP）： OVPはハードウェアレベルのグローバル保護機能であり、作業者と機器の安全を確保するためのものです。電圧源の出力は、設定されたOVP値を超えることはありません。

低抵抗を測定する場合は、4線式（4-Wire）、すなわちケルビン接続を使用する必要があります。

誤差の原因：従来の2線式で測定すると、測定ケーブル自体の抵抗が被測定インダクタの0.02 Ωという抵抗値を上回る場合があり、実際の測定値がケーブル抵抗の影響に埋もれてしまいます。

推奨接続方法：ケルビン接続では4本の導線を使用し、電圧センスポイントをDUTのより近くに配置します。これにより、接続ケーブルの抵抗が測定に与える影響を効果的に除去し、より高精度な電圧出力および測定が可能になります。

低抵抗を高精度に測定する場合は、一般的にケルビン接続が使用されます。

メインインタフェースのAdvancedオプション-Resistanceオプション-抵抗モードEnableを選択します。また、一般的に電気抵抗を測定する場合、電流源モードを選択し，適切な測定範囲を選択する必要があります。下図のように、1オームの抵抗を測定する場合、測定範囲がデフォルトで1Aのテスト電流に設定されます