パワー半導体KGDテスター
PB6400
パワー半導体KGDテスター選別システム
特徴
柔軟性のある設計
Handler部分(PB6400)はテスト部分から切り離され、拡張性が高いマルチチャンネルの並列テスト
最大で4つのテストステーションに対応し、各テストステーションは異なるテスト条件とテスト項目を同時に実施可能動的および静的パラメトリック・テストに対応
2000V/600A動的SWテストと2000V/1200A動的SCテストに対応高い精度
あんていせい ±3℃、分解能 0.1℃パラメータ | 仕様 |
適用製品 | SiCチップ |
Waferのサイズ | 4インチ、6インチ、8インチ |
静的パラメーター | Vds,Vth,Idss,Igss,Rds(on),Vsd |
動的パラメーター | Eas,Rint,Ciss,Coss,Crss,Eoss |
スイッチパラメーター | Isc,Td(on),Tr,Tf(off),Tf,Eon,Eoff,Trr,Qrr,Irrm |
システムの消費電力 | <10kW |
窒素防護 | 2~5Bar |
温度範囲 | 常温-200℃ |
ACテストステーション数 |
テストステーション数のカスタマイズに対応 |
DCテストステーション数 | テストステーション数のカスタマイズに対応 |
電流・電圧オーバーシュート | いずれの場合にもオーバーシュートはありません |
MESドッキング | MESドッキングに対応 |
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