PXIeプラグインソースメーター
D6003C
PXIeモジュール型 300V 5½桁デジタルマルチメータ
特徴
高集積化
PXIe シングルスロット 5½桁マルチメータ
高い測定分解能
最小電圧測定分解能：1μV
高い分解能
最大ADCサンプリングレート：1Msps
保護
過電流・過電圧保護：ハードウェアリセットまたは電源再投入で復旧可能。復旧しない場合は、モジュール破損の可能性があります
同期トリガー
内部同期トリガー機能（8本のTrig Bus0-7を備えた複数カード対応）
無料のPC用GUI制御ソフトウェア
プログラミング不要でPCからリモート測定および制御が可能|
電圧 |
範囲 |
入力インピーダンス |
精度(1年) (%読み取り値+測定レンジ) [1] |
温度係数 (%読み取り値+測定レンジ) (0℃-18℃，28℃-55℃) |
|
±300 mV |
100 MΩ（1%） 或＞10 GΩ |
0.018 + 0.008 |
0.02 + 0.02 |
|
|
±3 V |
100 MΩ（1%） 或＞10 GΩ |
0.015 + 0.005 |
0.02 + 0.02 |
|
|
±30 V |
100 MΩ（1%） |
0.015 + 0.005 |
0.02 + 0.02 |
|
|
±300 V |
100 MΩ（1%） |
0.015 + 0.005 |
0.02 + 0.02 |
【1】精度計算の例：3Vレンジで1V 出力の精度をテストする場合、許容差は：
|
電流 |
範囲 |
負担電圧 |
精度(1年) (%読み取り値+測定レンジ) [1] |
温度係数 (%読み取り値+測定レンジ) (0℃-18℃，28℃-55℃)/℃ |
|
20 mA |
＜ 0.3V |
0.05 + 0.015 |
0.008 + 0.0015 |
|
|
200 mA |
＜ 3V |
0.05 + 0.007 |
0.008 + 0.001 |
|
|
1 A |
＜ 0.2V |
0.1 + 0.015 |
0.012 + 0.0015 |
|
抵抗 |
範囲 |
測定電流 |
精度(1年) (%読み取り値+測定レンジ) [1] |
温度係数 (%読み取り値+測定レンジ) （0℃-18℃，28℃-55℃） |
|
100 Ω |
4 mA |
0.05 + 0.008 |
0.006 + 0.0008 |
|
|
1 KΩ |
4 mA |
0.1 + 0.08 |
0.006 + 0.0008 |
|
|
10 KΩ |
400 μA |
0.1 + 0.08 |
0.006 + 0.0008 |
|
|
100 KΩ |
4 μA |
0.5 + 0.08 |
0.006 + 0.0008 |
|
|
1 MΩ |
4 μA |
1 + 0.8 |
0.1 + 0.08 |
|
|
10 MΩ |
400 nA |
2.5 + 0.8 |
0.25 + 0.05 |
|
|
100 MΩ |
400 nA/10 MΩ |
10 + 0.8 |
1 + 0.05 |
|
ダイオード |
範囲 |
測定電流 |
精度(1年) (%読み取り値+測定レンジ)[1] |
温度係数 (%読み取り値+測定レンジ) （0℃-18℃，28℃-55℃） |
|
10 V |
1 mA |
0.05 + 0.03 |
0.005 + 0.005 |
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Details
半導体のフロントエンドテストは主にウェハーの加工プロセスで実施されます。これにより、ウェハー製造プロセスの各工程の指標、閾値、パラメータ要件などは設計の目標値を満たしているかを確認し、良品率に影響を与える欠陥を早期に発見することができます。
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