通信機器単一チャンネル PXIe 高精度SMU-聯訊儀器

特徴

高精度
分解能は10 fA/100 nV
電圧精度は100 μV
電流精度は9 pA
広い測定範囲、高速測定
±200 V、±1 A(DC)、
±3 A (パルス)、
最大1Mのサンプリングレートに対応
Adaptive PFCシステム
Adaptive PFC
(Precise-Fast Control) システムを利用して、
ユーザーは負荷特性に応じて、関連するパラメータを調整できます
マルチチャンネル並行テストシステムを構築
標準PXIeシャーシを使用することで、
マルチチャンネル並行テストを簡単に実現

機能と利点

5つの機能を同時搭載
電圧源
電流源
電流計
電圧計
電子負荷
1、3象限をソースにする：出力V/Iの実際の極性はソースによって設定します。
2、4象限を負荷にする：CCとCVを組み合わせて、負荷として使われる場合、負荷設定極性はソース極性と逆になります。
各種のデバイスをテスト可能
より多くのテストデータを取得
♦ 6桁半のデジタル分解能：精度は6 1/2桁のデジタル回路計に相当します。
♦10 fA / 100 nVの分解能: 設定と測定優れた感度。♦1Mポイント/秒: 高速に測定でき、任意の波形発生器（リスク掃引）を迅速に設定/デジタル化することができます。
多様なスキャン機能
DC I-V出力能力
パルスI-V出力能力

電圧仕様

電圧精度	測定範囲	分解能	精度(1年) ±(%読み取り値+バイアス)^[1]	雑音の標準値（有効値）0.1 Hz-10 Hz
	±200 V^[2]	100 μV	0.03% + 10 mV	0.4 mV
	±20 V	10 μV	0.03% + 1 mV	50 μV
	±6 V	1 μV	0.03% + 0.4 mV	12 μV
	±0.6 V	100 nV	0.03% + 100 μV	3 μV
温度係数	±(0.15×精度仕様)/℃(0℃-18℃，28℃-50℃)
オーバーショート	<±0.1%(標準値、Normal、ステップは範囲の10%から90%、測定範囲内の最大値、抵抗負荷テスト)
ノイズ 10Hz-20MHz	<5 mVrms ，20 V電圧源，1 A抵抗負荷

[1] 精度計算の例：600mVレンジで120mV 出力の精度をテストする場合、許容差は：

[2] 本仪表には潜在的な危険な高圧（±210 V）がHI /Sense HI/Guard 端子に出力されます。電撃を防ぐために、電源を入れる前に関連する安全対策を講じる必要があります。Guard 端子を任意の出力に接続しないでください。機器の地面や出力 LOに短絡させると、機器が損傷する可能性があります

電流仕様

電流精度	測定範囲	分解能	精度(1年) ±(%読み取り値+バイアス)	雑音の標準値（有効値）0.1Hz-10Hz
	±3 A^[3]	1 μA	0.03% + 2 mA	40 μA
	±1 A	100 nA	0.03% + 90 μA	7 μA
	±100 mA	10 nA	0.03% + 9 μA	600 nA
	±10 mA	1 nA	0.03% + 900 nA	60 nA
	±1 mA	100 pA	0.03% + 90 nA	6 nA
	±100 μA	10 pA	0.03% + 9 nA	700 pA
	±10 μA	1 pA	0.03% + 1 nA	80 pA
	±1 μA^[4]	100 fA	0.03% + 200 pA	20 pA
	±100 nA^[4][5]	100 fA	0.06% + 30 pA	3 pA
	±10 nA^[4][5]	10 fA	0.06% + 9 pA	600 fA
温度係数	±(0.15× 精度仕様)/℃(0℃-18℃，28℃-50℃)
オーバーショート	<±0.1%(標準値、Normal、ステップは範囲の10%から90%、測定範囲内の最大値、抵抗負荷テスト)

[3] 3A測定範囲はパルスモードにのみ対応しており、精度は標準値

[4] 微弱小電流測定については、三同軸ケーブル接続を維持することをお勧めします。三同軸端子を通常の接続方式に変更すると、計器の電流精度に影響を与える可能性があります

[5] 附加仕様条件：NPLC 構成 10PLC

パルス仕様

プログラミング可能な最小パルス幅			100 μs
パルス幅プログラミング分解能			1 μs
パルス幅プログラミング精度			±10 μs
パルス幅ジッター			2 μs
パルス幅の定義			次の図に示すように、10 %の先頭から90 %の立ち下がり区間までの時間

	最大電流制限	最大パルス幅	最大デューティ比
1	0.1 A/200 V	DC、無制限	100%
2	1 A/20 V	DC、無制限	100%
3	3 A/66. 6V	1 ms	5%
4	3 A/160 V	400 μs	2%

パルス立ち上がり時間

出力	最大出力	標準立ち上がり時間^[6^]	標準安定時間^[7^]	テスト負荷
電圧源	160 V	800 μs	1.2 ms	無負荷
	5 V	80 μs	200 μs	無負荷
電流源	3A~1 mA	120 μs	250 μs	全負荷時^[^8]
	100 μA ~10 μA	200 μs	400 μs	全負荷時^[^8]
	1 μA	800 μs	2 ms	全負荷時^[^8]
	100 nA	2 ms	5 ms	全負荷時^[^8]
	10 nA	5 ms	20 ms	全負荷時^[8^]

[6] パルスの先頭が10%から90%までの所要時間

[7] パルスが最終値まであと1%に達するまでの所要時間

[8] テスト条件:normal純抵抗全負荷電圧が6Vに上昇

出力セットアップ時間

出力	測定範囲	標準出力セットアップ時間^[^9]			テスト条件
出力	測定範囲	Fast^[10]	Normal	Slow	テスト条件
電圧源	200V	<500μs	<1.2ms	<2ms	開回路条件下で、最終値まであと0.1％以内に達するまでの所要時間。
	20V	<100μs	<200μs	<600μs
	6V	<90μs	<180μs	<300μs
	0.6V	<80μs	<80μs	<80μs
電流源	3A~1mA	<70μs	<200μs	<0.8ms	Normal条件で全負荷の場合、電圧出力は6Vに達します。最終値まであと0.1％以内に達するまでの(3Aの範囲の場合は0.3％)所要時間。
	100μA	<100μs	<200μs	<0.8ms
	10μA	＜200μs	＜300μs	＜0.8ms
	1μA	<1.5ms	<1.5ms	<1.5ms
	100 nA	<3ms	<3ms	<3ms
	10 nA	<10ms	<10ms	<10ms

[9] 出力スルーレート: Fast、Normal、Slow。ユーザーは自分で負荷特性に応じてAPFCパラメータを調整して、適切なセットアップ時間や安定性を得ることができます

[10] Fastモードは、異なる測定範囲や負荷条件で出力する場合、大きなオーバーシュートを引き起こす可能性があり、オーバーシュートに対する感度が高い機器にはnormalモードまたはSlowモードをお勧めします

サンプリングレートとNPLCの設定

設定方法					設定範囲
NPLC					0.00005 PLC ~ 10 PLC
Sampling Rate					5 sps ~ 1 Msps

測定精度のディレーティング

誤差が増大する測定範囲のパーセンテージ（PLC＜1）

PLC	測定範囲
PLC	600mV	6V	20V	200V	10nA至1uA	10μA	100μA至100mA	1A至3A
0.1	0.02%	0.01%	0.01%	0.01%	0.02%	0.01%	0.01%	0.01%
0.01	0.30%		0.03%	0.02%	0.20%	0.04%	0.02%	0.02%
0.001	3.20%		0.40%	0.1%	2.50%	0.40%	0.03%	0.03%

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