電圧精度

測定範囲

測定分解能

精度(1年)

±(%読み取り値+バイアス)

雑音の標準値 (有効値)

0.1 Hz-10 Hz

±200 V

100 μV

0.03%+10 mV

400 μV

±40 V

10 μV

0.03%+2 mV

100 μV

±20V

10 μV

0.03%+1 mV

50 μV

±2 V

1 μV

0.03%+100 μV

10 μV

±0.6 V

100 nV

0.03%+50 μV

2 μV

温度係数

±(0.15 × 精度仕様)/℃ (0℃-18℃、28℃-50℃)

時間の設定

<50 μs（標準値）

オーバーショート

<±0.1%(標準値、Normal、ステップは範囲の10%から90%、測定範囲内の最大値、抵抗負荷テスト)

ノイズ 10Hz-20MHz

20V電圧源、1A抵抗負荷、<5 mVrms

電流精度

測定範囲

測定分解能

精度(1年)

±(% 読み取り値+バイアス)

雑音の標準値 (有効値)

0.1 Hz-10 Hz

±3 A¹

1 μA

0.03% + 2mA

20 μA

±1 A

100 nA

0.03% + 90 μA

4 μA

±100 mA

10 nA

0.03% + 9 μA

600 nA

±10 mA

1 nA

0.03% + 900 nA

60 nA

±1 mA

100 pA

0.03% + 90 nA

6 nA

±100 μA

10 pA

0.03% + 9 nA

700 pA

±1 μA

100 fA

0.03% + 200 pA

20 pA

±10 nA²

10 fA

0.06% +9 pA

600 fA

±1 nA²

1 fA

0.1% +3 pA

60 fA

±100 pA²

1 fA

0.3% +1 pA

30 fA

温度係数

±(0.15 × 精度仕様)/℃ (0℃-18℃、28℃-50℃)

時間の設定

<100 μs（標準値）

オーバーショート

<±0.1%(標準値、Normal、ステップは範囲の10%から90%、測定範囲内の最大値、抵抗負荷テスト)

プログラミング可能な最小パルス幅

100 μs

パルス幅プログラミング分解能

1 μs

パルス幅プログラミング精度

±10 μs

パルス幅ジッター

2 μs

パルス幅の定義

次の図に示すように、10 %の先頭から90 %の立ち下がり区間までの時間

パルス技術仕様

最大電流制限

最大パルス幅

最大デューティ比

1

0.1 A/200 V

DC、無制限

100%

2

1 A/20 V

DC、無制限

100%

3

3 A/66.6 V

1 ms

5%

4

3 A/160 V

400 μs

2%

出力

最大出力

標準立ち上がり時間 ¹

標準安定時間²

テスト負荷

電圧源

160 V

800 μs

1.2 ms

無負荷

5 V

40 μs

100 μs

無負荷

電流源

3A~100 μA

90 μs

250 μs

全負荷時³

1 μA

300 μs

600 μs

全負荷時³

10 nA

5 ms

10 ms

全負荷時³

1 nA

10 ms

50 ms

全負荷時³

100 pA

100 ms

500 ms

全負荷時³

出力

測定範囲

標準出力セットアップ時間¹

テスト条件

Fast²

Normal

Slow

電圧源

200 V

<500 μs

<900 μs

<2 ms

開回路条件下で、最終値まであと0.1％以内に達するまでの所要時間。ステップは範囲の10％から90％になります。

40 V

<200 μs

<400 μs

<900 μS

20 V

<60 μs

<100 μs

<500 μs

2 V

<50 μs

<50 μs

<50 μs

電流源

3 A~100 μA

<50 μs

<100 μs

<0.8 ms

Normal条件で全負荷の場合、電圧出力は6Vに達します。最終値まであと0.1％以内に達するまでの(3Aの範囲の場合は0.3％)所要時間。ステップは範囲の10%から90%になります。

1 μA

<300 μs

<400 μs

<1 ms

10 nA

<10 ms

<10 ms

<10 ms

1 nA

<50 ms

<50 ms

<50 ms

100 pA

<500 ms

<500 ms

<500 ms