パルス
S3023P
PXIe モジュール式パルス電圧源
聯訊儀器S3023P は、PXIeモジュール式の1チャネル高電圧半導体テスト・パルス源です。最大±40 Vの高電圧パルスを出力でき、最速20 ns（Vamp < 10 V）のエッジ時間を提供することで、半導体の高速テスト・アプリケーションの要求に対応します。 S3023Pは標準的なSCPIコマンドをサポートしているため、テスト・コードの移行を迅速かつ容易に行うことができます。また、複数モジュールの並列動作および同期をサポートしており、生産テスト・システムに統合することで、システムのテスト効率の向上とコスト削減を実現します。
特徴
高電圧範囲が広い
±40V、NVMテストの技術的条件を満たします
高電圧変動率が速い
1000V/µS、より速いエッジを発生させることができる高電圧パルス
PXIeインターフェース
多チャネル拡張： 標準PXIeシャーシに対応
マルチレベル・パルス
多彩な出力に対応： 2レベルおよび3レベル・パルスを出力可能
ALWG機能
ユーザーによるCSVベースのテキスト編集をサポート技術仕様
ソフトウェア機能：
非常に直感的でシンプルなGUIにより、チャネルの出力電圧波形を簡単に設定できます。
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パラメータ名 |
仕様 |
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周波数範囲 |
0.1 Hz ~ 33 MHz |
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パルス周期 |
設定範囲 |
20 ns ~ 10 s |
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分解能 |
10 ns |
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最小値 |
100 ns ( Vamp ≤ 10 V) |
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確度 |
±1% |
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パルス幅 |
設定範囲 |
10 ns ~ (パルス周期 - 10 ns) |
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分解能 |
2.5 ns (Tr and Tf ≤ 8 µs) 10 ns (Tr or Tf ≥ 8 µs) |
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最小値 |
50 ns (Vamp ≤ 10 V，20 ns代表値) |
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確度 |
± (3% + 2.5 ns) |
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立ち上がり／立ち下がり時間[3] （Tr/Tf） |
設定範囲 |
8 ns ~ 400 ms |
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分解能 |
2.5 ns (Tr and Tf ≤ 8 µs) 8 ns (Tr or Tf > 8 µs) |
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最小値[4] |
20 ns (Vamp ≤ 10 V) 30 ns (Vamp ≤ 20 V) 60 ns (Vamp > 20 V) |
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確度 |
± (5% + 10 ns) (Vamp ≤ 10 V) ± (5% + 20 ns) (Vamp ≤ 20 V) |
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出力リレー切替時間（ON/OFF） |
≤ 100 μs |
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[3]出力パルス振幅（Vamp）が10%から90%に立ち上がる、または90%から10%に立ち下がるのに要する時間。
[4]適用可能なタイミング確度の最小値。
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パラメータ名 |
仕様 |
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パルス幅ジッタ |
0.001% + 250 ps |
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パルス周期ジッタ |
0.001% + 250 ps |
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最大電圧スルー・レート |
1000 V/µs (50 Ω) |
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出力ノイズ |
15 mVrms (DC OUT) |
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出力電圧モニター確度 |
± (0.1% + 25 mV) / 1 PLC (OPEN) |
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出力電圧モニター分解能 |
50 μV |
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Details
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