特徴

技術仕様

脉冲電流源仕様（DC 電圧源と同時に使用できません）

電流精度	測定範囲	分解能の設定	精度 ±（%RD+mA）
	±150mA	20uA	0.1%+0.2mA
	±750mA	20uA	0.1%+0.3mA
	±1.5A	40uA	0.1%+0.8mA
電流雑音	測定範囲	雑音の標準値（抵抗負荷、RMS） 10k-20MHz
	±150mA	1mA
	±750mA	1mA
	±1.5A	1mA
最大負荷電圧降下	10V
パルス幅分解能	80ns
最大パルス幅Ton-max	500us
最小パルス幅Ton-min	3us
パルス最小ターンオフ時間Toff-min	100us
パルス幅精度	100ns^[1]
パルス幅ジッター	80ns（典型值）
パルス周期ジッタ	500ns（典型值）
立ち上がり時間（10%-90%）	＜400ns^[2][3][4]
パルスオーバーシュート	＜0.5%^[2][3][4]
電流レギュレーション	ラインレギュレーション	0.05%量程
	ロードレギュレーション	±100uA
デューティ比制限^[5]	D≤50%；以下の条件を満たすこと。： D＜3-\|Ibias\|/[（Vsp-Vload）*（\|Iset\|-\|Ibias\|）]




単掃引最大パルス数	64k

[1] 偏置電流＞1mA

[2] 出力ケーブルが短絡した場合のテスト

[3] 出力ケーブルとDUT全体のインダクタンス<200nh(100k)

[4] パルス幅測定は立ち上がりエッジの10%から立ち下がりエッジの90%まで

[5] Iset：設定電流；D：デューティ比；Vsp：ソース保護電圧；Vload：負荷電圧降下

パルス測定仕様

PULSE 電圧測定	測定範囲	表示分解能	精度 ±（%RD+mV）	サンプリングレート^[6]
	6V	1mV	0.1%+22mV	100MSa/s
	10V	1.5mV	0.1%+24mV	100MSa/s
PULSE 電流測定	測定範囲	表示分解能	精度 ±（%RD+mA）	サンプリングレート
	150mA	40uA	0.1%+1mA	100Msa/s
	750mA	100uA	0.1%+3mA
	1.5A	200uA	0.1%+7mA
Sense側の制限(パルス電圧測定時)	HIとSENSE HI間の最大電圧 =±10V LOとSENSE LO間の最大電圧 =±10V

[6] サンプリングレートはクライアント側で使用可能な最大サンプリングレート

電圧源（DC）	測定範囲	分解能の設定	精度 ±（%RD+mV）	リップル（RMS） 10k-20MHz	最大出力電流
電圧源（DC）	±10V	1mV	0.1%+1.5mV	＜5.5mV	10mA
電流測定 (DC)	測定範囲	表示分解能	精度 ±（%RD+nA）	サンプリングレート	通常のサンプリングレート
	100uA	30nA	0.1%+0.5uA	100MSa/s	10NPLC
	100nA	30pA	0.1%+0.5uA	100MSa/s
電圧測定 (DC)	測定範囲	表示分解能	精度 ±（%RD+mV）	サンプリングレート
電圧測定 (DC)	±10V	1.5mV	0.1%+15mV	10MSa/s
Sense 側の制限 (DC電圧測定時)	HIとSENSE HI間の最大電圧 =±1V LOとSENSE LO間の最大電圧 =±1V

	信号レベル	遅延（Type^[7][8][9]）	トリガーモード
Trig_IN/OUT	5V	400ns	立ち上がりエッジ

[7] 出力ケーブルが短絡した場合のテスト

[8] 出力電流＞100mA

[9] 偏置電流＞1mA