waferレベル信頼性評価システム
WLR0100
waferレベル信頼性評価システム
特徴
電圧範囲
0-200V ソフトウェアで設定可能チャンネルがハードウェアでそれぞれ電流制御
0-10mA ソフトウェアで設定可能電流サンプリング速度をモニタリング
最小 10nA の精度独立の2つの温度帯
最大200℃度に対応ボードごとのチャンネル
32 チャンネル独立したチャンネル条件
精度と測定範囲の要求を満たすことができる上、チャンネルがそれぞれ独立しています製品異常保護機能
過電流過電圧保護機能を有し、保護しきい値は設定可能で、過電流保護応答時間<100ns、オーバーシュート<5%バーンインオーブンには窒素ガスの充填による防護が可能
機能と利点
DIPパッケージングのBurn-in Board
Burn-in Boardセットはゴールドフィンガーの構造を採用していて、下図は代表的なDIPパッケージングBurn-in Board聯訊WLR0100テスティングソフトウェアプラットフォームは構成を変更可能なプラットフォームで、以下の機能が含まれてます。
オンラインで製品の事前チェック機能を有し、ユーザーがプラグとプルの場合の接続が良好かどうかを検出できます。技術仕様 |
DUT対応 | DIP or TO247 Burn-in Board |
テスト温度範囲 | (環境温度+20)℃~+200℃ | |
電気的パラメータ |
テストパラメータ | テストの生データ、結果の計算、システム実行の詳細ログの保存 |
Channel | 最大384 ch | |
ドライバーボード | 独立した32 chの電流・電圧モニター | |
システムドライバーボード | 12枚のドライバーボードはそれぞれ独立して、電圧調節・電流制御を可能にします | |
Vthスキャンテスト | Range:0V~200V ,Accuracy:0.5%RD±500mV; | |
飽和電流テスト | ≤10mA | |
漏れ電流範囲と精度 |
Range:1mA~10mA ,Accuracy:0.5%RD±50uA; Range:100uA-1mA ,Accuracy:0.5%RD±500nA; Range:10uA-100uA ,Accuracy:0.5%RD±50nA; Range:1uA-10uA ,Accuracy:0.5%RD±5nA; Range:0nA-1uA ,Accuracy:0.5%RD±500pA; |
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電圧源の範囲と精度 | Range:0V~20V ,Accuracy:0.5%RD±50mV; Range:20V~200V ,Accuracy:0.5%RD±500mV; |
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データモニタリング | 電圧、電流のモニタリングとPCクライアントへのアップロードに対応し、テストの全過程で各テスト ステーションのパラメーターを測定・記録し、出力曲線とExcelデータ報告書を作成します。 |
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温度パラメータ |
テスト環境条件 | 環境温度が+25℃ 、テストチャンバー内にサンプルがなく換気条件なし |
テスト方法 | GB/T 5170.2-2017 温度試験設備 | |
温度範囲 | (環境温度+20)℃~+200℃ | |
温度変動 | ≦100℃ 時: 0.4℃ (GB/T 5170.2-1996で表示する場合は ± 0.2 ℃) ≦ 200 ℃ 時: 0.4 ℃ (GB/T 5170.2-1996で表示する場合は ± 0.2 ℃) |
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温度偏差 (無負荷) | ≤100℃時:±1.5℃;≤200℃時:±2.0℃ | |
温度偏差 (全負荷) | ≤100℃時:±2.0℃;≤200℃時:±3.0℃ | |
ガスパラメーター |
流体 | N2、CO2(常温、ドライガス) |
流体圧力 |
ガス圧力要件: ≥1MPa (10kg/cm²)(101、201、301 モデル); ≥1.5MPa (15kg/cm²)(401 モデル)、 バルブ入口側の許容最大圧力: 2.0kg/cm²(101、201、301 モデル)、 5.0kg/cm²(401 モデル) |
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フロー | 最大フロー:30L/min(101、201、301 モデル);250 L /min(401 モデル) | |
エアコネクション | エアコネクション要件: クイック挿入式直通エアチューブ、スペック φ10mm |
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