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ベンチトップ型ソースメーター

S3022F

デュアルチャネル高精度SMU


聯訊儀器 S3022F ダブルチャネル高精度SMUは、コンパクトで効率的で費用対効果の高いダブルチャンネルベンチトップ型SMUで、電圧と電流を同時に出力・測定することができ、より高い出力とより高い精度を提供し、多彩な液晶パネルオペレーションインタフェースにより、テストの効率を大幅に向上させることができます。


特徴

  • 広い測定範囲

    測定範囲:±200V、±3 A(DC)、±10A(パルス)
  • 高い分解能

    最小測定分解能は100fA/100nVに達します
  • サンプリングレートが高い

    最大1MのADCサンプリングレートに対応
  • しきい値トリガー

    ハードウェアによる高速IOは、しきい値トリガーを実現し、出力測定値とユーザーシステムの効率的なインタラクションを実現

機能と利点

  • 5つの機能を同時搭載

    電圧源
    、電流源
    、電流計
    、電圧計
    、電子負荷
  • 1、3象限をソースにする:出力V/Iの実際の極性はソースによって設定します。
     2、4象限を負荷にする:CCとCVを組み合わせて、負荷として使われる場合、負荷設定極性はソース極性と逆になります。
  • 各種のデバイスをテスト可能

  • より多くのテストデータを取得

    ♦ 6桁半のデジタル分解能:精度は6 1/2桁のデジタル回路計に相当します。
    ♦100 fA / 100 nVの分解能: 設定と測定 優れた感度。♦1Mポイント/秒: 高速に測定でき、任意の波形発生器(リスク掃引)を迅速に設定/デジタル化することができます。
  • 多様なスキャン機能

電圧源仕様




電圧設定精度

測定範囲 分解能の設定 精度(1年)±(%読み取り値+バイアス) 雑音の標準値(有効値)0.1 Hz-10 Hz
±200 V 1 mV 0.02%+30 mV 1.5 mV
±20 V 100 μV 0.02%+2 mV 160 μV
±6 V 50 μV 0.02%+500 μV 36 μV
±200 mV 1 μV 0.02%+120 μV 4 μV
温度係数 ±(0.15 × 精度仕様)/°C (0℃-18℃、28℃-50℃)
シングルチャンネルの最大パワー 30W: ±20V@1.5A;30W: ±200 V@0.15A;18W: ±6 V@3A
時間の設定 <800μs(標準値)
オーバーショート <±0.1%(標準値、Normal、ステップは範囲の10%から90%、測定範囲内の最大値、抵抗負荷テスト)
ノイズ 10Hz-20MHz 6V電圧源、3A抵抗負荷、<3mVrms


電流源仕様









電流設定精度

測定範囲 分解能の設定 精度(1年)±(%読み取り値+バイアス) 雑音の標準値(有効値)0.1 Hz-10 Hz
±10 A1 50 μA 0.4% + 40 mA NA
±3 A 15 μA 0.05% + 2 mA 40 μA
±1.5 A 10 μA 0.02% + 500 μA 20 μA
±150 mA 1 μA 0.02% + 25 μA 5 μA
±15 mA 100 nA 0.02% + 6 μA 700 nA
±1.5 mA 10 nA 0.02% + 250 nA 16 nA
±150 μA 1 nA 0.02% + 25 nA 21 nA
±15 μA 100 pA 0.02% + 3 nA 140 pA
±1.5 μA 10 pA 0.03% + 450 pA 25 pA
±150 nA 1 pA 0.05%+250 pA 5 pA
温度係数 ±(0.15 × 精度仕様)/°C (0℃-18℃、28℃-50℃)
シングルチャンネルの最大パワー 30W: ±20V@1.5A;30W: ±200 V@0.15A;18W: ±6 V@3A
時間の設定 <500 μs(標準値)
オーバーショート <±0.1%(標準値、Normal、ステップは範囲の10%から90%、測定範囲内の最大値、抵抗負荷テスト)

1、10A測定範囲はパルスモードにのみ対応しており、精度は標準値


電圧計仕様




電圧測定精度

測定範囲 表示分解能 精度(1年)±(%読み取り値+バイアス)
±200 V 100 μV 0.02% + 30 mV
±20 V 10 μV 0.02% + 2 mV
±6 V 1 μV 0.02% + 500 μV
±200 mV 100 nV 0.02% + 120 μV
温度係数 ±(0.15 × 精度仕様)/°C (0℃-18℃、28℃-50℃)


電流計仕様










電流測定精度

測定範囲 表示分解能 精度(1年)±(%読み取り値+バイアス)
±10 A1 10 μA 0.4% + 25 mA
±3 A 10 μA 0.05% + 2 mA
±1.5 A 1 μA 0.02% + 500 μA
±150 mA 100 nA 0.02% + 25 μA
±15 mA 10 nA 0.02% + 6 μA
±1.5 mA 1 nA 0.02% + 250 nA
±150 μA 100 pA 0.02% + 25 nA
±15 μA 10 pA 0.02% + 3 nA
±1.5 μA2 1 pA 0.03% + 450 pA
±150 nA2 100 fA 0.05% + 250 pA
温度係数 ±(0.15 × 精度仕様)/°C (0℃-18℃、28℃-50℃)


1、10A測定範囲はパルスモードにのみ対応しており、精度は標準値
2、微小電流測定は、トライアキシャル・ケーブルを使用することをおすすめします。ForceHiは芯線に接続し、Guardは内部遮蔽層に接続し、外部遮蔽層は保護接地し、ForceLoは芯線に接続し、内部遮蔽層は接続なし、外部遮蔽層は保護接地し、同軸ケーブルの定格絶縁電圧は250V以上です。

絶縁抵抗計の仕様(4線式)










抵抗測定精度

測定範囲 表示分解能 デフォルトの測定電流 標準精度(1年)±(% 読み取り値+バイアス)
1 Ω 1 μΩ 1.5 A 0.073% +0.3334 mΩ
10 Ω 10 μΩ 150 mA 0.057% + 3.334 mΩ
100 Ω 100 μΩ 15 mA 0.08% + 33.34 mΩ
1 kΩ 1 mΩ 1.5 mA 0.057% + 333. 4 mΩ
10 kΩ 10 mΩ 150 μA 0.057% + 3.334 Ω
100 kΩ 100 mΩ 15 μA 0.06% + 33.34 Ω
1 MΩ 1 Ω 1.5 μA 0.06% + 333.4 Ω
10 MΩ 10 Ω 0.15 μA 0.35% + 3.334 kΩ
100 MΩ 100 Ω 0.05 μA 0.95% + 10 kΩ
温度係数 ±(0.15 × 精度仕様)/°C (0℃-18℃、28℃-50℃)
手動電流源抵抗測定(4線式) 総合誤差=測定電圧/電流源設定電流=抵抗の読み取り値x(電圧源測定範囲のゲイン誤差率+電流計測定範囲のゲイン誤差率+電流源測定範囲のバイアス/設定電流)+(電圧源測定範囲バイアス/設定電流値)例:電流源設定電流=1.5A 電圧測定測定範囲=6V 総合誤差=(0.02%+0.02%+500μA/1.5A)+(500μV/1.5A) 0.073%+0.3334mΩ


パルス仕様 (4線式)

プログラミング可能な最小パルス幅 100 μs
パルス幅プログラミング分解能 1 μs
パルス幅プログラミング精度 ±10 μs
パルス幅ジッター 2 μs
パルス幅の定義 次の図に示すように、10 %の先頭から90 %の立ち下がり区間までの時間



パルス技術仕様 最大電流制限 最大パルス幅 最大デューティ比
1 0.15 A/200 V DC、無制限 100%
2 1.5 A/20 V DC、無制限 100%
3 3 A/6 V DC、無制限 100%
4 3 A/20 V 1 ms 10%
5 10 A/6 V 1 ms 10%


パルス立ち上がり時間(4線式)

出力 測定範囲 標準立ち上がり時間 1,3 標準安定時間2,3 テスト負荷



電圧源

200 V 600 μs 1.5 ms 無負荷
20 V 200 μs 360 μs 無負荷
6 V 160 μs 300 μs 無負荷





電流源

10 A 140 μs 320 μs 全負荷
3 A 120 μs 280 μs 全負荷
1.5 A 120 μs 280 μs 全負荷
150 mA 120 μs 280 μs 全負荷
15 mA 120 μS 280 μs 全負荷
1.5 mA 120 μS 280 μs 全負荷


1、パルスの先頭が10%から90%までの所要時間。
2、パルスが最終値まであと1%に達するまでの所要時間。
3.電流源テストは6V電圧測定範囲で、クランプ回路が105%フルスケールに設定された上で実施されます。

I-V 出力能力




出力セットアップ時間


出力


測定範囲

標準出力セットアップ時間


テスト要件

Fast 1,2 Normal 1 Slow1




電圧源

200 V <1.3 ms <1.5 ms <2.5 ms



開回路条件下で、最終値まであと0.1%以内に達するまでの所要時間。

ステップは範囲の10%から90%になります。

20 V <300 μs <360 μs <1 ms
6 V <150 μs <250 μs <1 ms
200 mV <200 μs <250 μs <1 ms









電流源

3 A <200 μs <280 μs <1.2 ms








全負荷条件では、最終値まであと0.1%以内(3A範囲では0.3%)に達するまでの所要時間。

ステップは範囲の10%から90%になります。6V電圧測定範囲で、クランプ回路が105%フルスケールに設定。


1.5 A <200 μs <280 μs <1.2 ms
150 mA <200 μs <280 μs <1.2 ms
15 mA <200 μs <280 μs <1.2 ms
1.5 mA <200 μs <280 μs <1.2 ms
150 μA <250 μs <300 μs <1.2 ms
15 μA <250 μs <1.2 ms <2 ms
1.5 μA <600 μs <1.2 ms <5 ms
150 nA <600 μs <5 ms <12 ms


1.出力変換スルーレート: Fast、Normal、Slow。
2、Fastモードは、異なる測定範囲や負荷条件で出力する場合、大きなオーバーシュートを引き起こす可能性があり、オーバーシュートに対する感度が高い機器にはSlowモードをお勧めします。

サンプリングレートとNPLCの設定


設定方法 設定範囲
NPLC 0.00005 PLC ~ 10 PLC
Sampling Rate 5 sps ~ 1 Msps

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