
ベンチトップ型ソースメーター
S3022F
デュアルチャネル高精度SMU
特徴

広い測定範囲
測定範囲:±200V、±3 A(DC)、±10A(パルス)
高い分解能
最小測定分解能は100fA/100nVに達します
サンプリングレートが高い
最大1MのADCサンプリングレートに対応
しきい値トリガー
ハードウェアによる高速IOは、しきい値トリガーを実現し、出力測定値とユーザーシステムの効率的なインタラクションを実現機能と利点

5つの機能を同時搭載
電圧源
各種のデバイスをテスト可能
より多くのテストデータを取得
♦ 6桁半のデジタル分解能:精度は6 1/2桁のデジタル回路計に相当します。
多様なスキャン機能
電圧源仕様
|
電圧設定精度 |
測定範囲 | 分解能の設定 | 精度(1年)±(%読み取り値+バイアス) | 雑音の標準値(有効値)0.1 Hz-10 Hz |
| ±200 V | 1 mV | 0.02%+30 mV | 1.5 mV | |
| ±20 V | 100 μV | 0.02%+2 mV | 160 μV | |
| ±6 V | 50 μV | 0.02%+500 μV | 36 μV | |
| ±200 mV | 1 μV | 0.02%+120 μV | 4 μV | |
| 温度係数 | ±(0.15 × 精度仕様)/°C (0℃-18℃、28℃-50℃) | |||
| シングルチャンネルの最大パワー | 30W: ±20V@1.5A;30W: ±200 V@0.15A;18W: ±6 V@3A | |||
| 時間の設定 | <800μs(標準値) | |||
| オーバーショート | <±0.1%(標準値、Normal、ステップは範囲の10%から90%、測定範囲内の最大値、抵抗負荷テスト) | |||
| ノイズ 10Hz-20MHz | 6V電圧源、3A抵抗負荷、<3mVrms | |||
[1]精度計算の例:200mVレンジで120mV 出力の精度をテストする場合、許容差は:
[2]本仪表には潜在的な危険な高圧(±210 V)がHI /Sense HI/Guard 端子に出力されます。電撃を防ぐために、電源を入れる前に関連する安全対策を講じる必要があります。Guard 端子を任意の出力に接続しないでください。シャーシの接地や出力 LOに短絡することは、機器を損傷する原因となります
電流源仕様
|
電流設定精度 |
測定範囲 | 分解能の設定 | 精度(1年)±(%読み取り値+バイアス) | 雑音の標準値(有効値)0.1 Hz-10 Hz |
| ±10 A1 | 50 μA | 0.4% + 40 mA | NA | |
| ±3 A | 15 μA | 0.05% + 2 mA | 40 μA | |
| ±1.5 A | 10 μA | 0.02% + 500 μA | 20 μA | |
| ±150 mA | 1 μA | 0.02% + 25 μA | 5 μA | |
| ±15 mA | 100 nA | 0.02% + 6 μA | 700 nA | |
| ±1.5 mA | 10 nA | 0.02% + 250 nA | 16 nA | |
| ±150 μA | 1 nA | 0.02% + 25 nA | 21 nA | |
| ±15 μA | 100 pA | 0.02% + 3 nA | 140 pA | |
| ±1.5 μA | 10 pA | 0.03% + 450 pA | 25 pA | |
| ±150 nA | 1 pA | 0.05%+250 pA | 5 pA | |
| 温度係数 | ±(0.15 × 精度仕様)/°C (0℃-18℃、28℃-50℃) | |||
| シングルチャンネルの最大パワー | 30W: ±20V@1.5A;30W: ±200 V@0.15A;18W: ±6 V@3A | |||
| 時間の設定 | <500 μs(標準値) | |||
| オーバーショート | <±0.1%(標準値、Normal、ステップは範囲の10%から90%、測定範囲内の最大値、抵抗負荷テスト) | |||
1、10A測定範囲はパルスモードにのみ対応しており、精度は標準値
電圧計仕様
|
電圧測定精度 |
測定範囲 | 表示分解能 | 精度(1年)±(%読み取り値+バイアス) |
| ±200 V | 100 μV | 0.02% + 30 mV | |
| ±20 V | 10 μV | 0.02% + 2 mV | |
| ±6 V | 1 μV | 0.02% + 500 μV | |
| ±200 mV | 100 nV | 0.02% + 120 μV | |
| 温度係数 | ±(0.15 × 精度仕様)/°C (0℃-18℃、28℃-50℃) | ||
電流計仕様
|
電流測定精度 |
測定範囲 | 表示分解能 | 精度(1年)±(%読み取り値+バイアス) |
| ±10 A1 | 10 μA | 0.4% + 25 mA | |
| ±3 A | 10 μA | 0.05% + 2 mA | |
| ±1.5 A | 1 μA | 0.02% + 500 μA | |
| ±150 mA | 100 nA | 0.02% + 25 μA | |
| ±15 mA | 10 nA | 0.02% + 6 μA | |
| ±1.5 mA | 1 nA | 0.02% + 250 nA | |
| ±150 μA | 100 pA | 0.02% + 25 nA | |
| ±15 μA | 10 pA | 0.02% + 3 nA | |
| ±1.5 μA2 | 1 pA | 0.03% + 450 pA | |
| ±150 nA2 | 100 fA | 0.05% + 250 pA | |
| 温度係数 | ±(0.15 × 精度仕様)/°C (0℃-18℃、28℃-50℃) | ||
|
抵抗測定精度 |
測定範囲 | 表示分解能 | デフォルトの測定電流 | 標準精度(1年)±(% 読み取り値+バイアス) |
| 1 Ω | 1 μΩ | 1.5 A | 0.073% +0.3334 mΩ | |
| 10 Ω | 10 μΩ | 150 mA | 0.057% + 3.334 mΩ | |
| 100 Ω | 100 μΩ | 15 mA | 0.08% + 33.34 mΩ | |
| 1 kΩ | 1 mΩ | 1.5 mA | 0.057% + 333. 4 mΩ | |
| 10 kΩ | 10 mΩ | 150 μA | 0.057% + 3.334 Ω | |
| 100 kΩ | 100 mΩ | 15 μA | 0.06% + 33.34 Ω | |
| 1 MΩ | 1 Ω | 1.5 μA | 0.06% + 333.4 Ω | |
| 10 MΩ | 10 Ω | 0.15 μA | 0.35% + 3.334 kΩ | |
| 100 MΩ | 100 Ω | 0.05 μA | 0.95% + 10 kΩ | |
| 温度係数 | ±(0.15 × 精度仕様)/°C (0℃-18℃、28℃-50℃) | |||
| 手動電流源抵抗測定(4線式) | 総合誤差=測定電圧/電流源設定電流=抵抗の読み取り値x(電圧源測定範囲のゲイン誤差率+電流計測定範囲のゲイン誤差率+電流源測定範囲のバイアス/設定電流)+(電圧源測定範囲バイアス/設定電流値)例:電流源設定電流=1.5A 電圧測定測定範囲=6V 総合誤差=(0.02%+0.02%+500μA/1.5A)+(500μV/1.5A) 0.073%+0.3334mΩ | |||
パルス仕様 (4線式)
| プログラミング可能な最小パルス幅 | 100 μs |
| パルス幅プログラミング分解能 | 1 μs |
| パルス幅プログラミング精度 | ±10 μs |
| パルス幅ジッター | 2 μs |
| パルス幅の定義 | 次の図に示すように、10 %の先頭から90 %の立ち下がり区間までの時間 |

| パルス技術仕様 | 最大電流制限 | 最大パルス幅 | 最大デューティ比 |
| 1 | 0.15 A/200 V | DC、無制限 | 100% |
| 2 | 1.5 A/20 V | DC、無制限 | 100% |
| 3 | 3 A/6 V | DC、無制限 | 100% |
| 4 | 3 A/20 V | 1 ms | 10% |
| 5 | 10 A/6 V | 1 ms | 10% |
パルス立ち上がり時間(4線式)
| 出力 | 測定範囲 | 標準立ち上がり時間 1,3 | 標準安定時間2,3 | テスト負荷 |
|
電圧源 |
200 V | 600 μs | 1.5 ms | 無負荷 |
| 20 V | 200 μs | 360 μs | 無負荷 | |
| 6 V | 160 μs | 300 μs | 無負荷 | |
|
電流源 |
10 A | 140 μs | 320 μs | 全負荷 |
| 3 A | 120 μs | 280 μs | 全負荷 | |
| 1.5 A | 120 μs | 280 μs | 全負荷 | |
| 150 mA | 120 μs | 280 μs | 全負荷 | |
| 15 mA | 120 μS | 280 μs | 全負荷 | |
| 1.5 mA | 120 μS | 280 μs | 全負荷 |

出力セットアップ時間
|
出力 |
測定範囲 |
標準出力セットアップ時間 |
テスト要件 |
||
| Fast 1,2 | Normal 1 | Slow1 | |||
|
電圧源 |
200 V | <1.3 ms | <1.5 ms | <2.5 ms |
開回路条件下で、最終値まであと0.1%以内に達するまでの所要時間。 ステップは範囲の10%から90%になります。 |
| 20 V | <300 μs | <360 μs | <1 ms | ||
| 6 V | <150 μs | <250 μs | <1 ms | ||
| 200 mV | <200 μs | <250 μs | <1 ms | ||
|
電流源 |
3 A | <200 μs | <280 μs | <1.2 ms |
全負荷条件では、最終値まであと0.1%以内(3A範囲では0.3%)に達するまでの所要時間。 ステップは範囲の10%から90%になります。6V電圧測定範囲で、クランプ回路が105%フルスケールに設定。 |
| 1.5 A | <200 μs | <280 μs | <1.2 ms | ||
| 150 mA | <200 μs | <280 μs | <1.2 ms | ||
| 15 mA | <200 μs | <280 μs | <1.2 ms | ||
| 1.5 mA | <200 μs | <280 μs | <1.2 ms | ||
| 150 μA | <250 μs | <300 μs | <1.2 ms | ||
| 15 μA | <250 μs | <1.2 ms | <2 ms | ||
| 1.5 μA | <600 μs | <1.2 ms | <5 ms | ||
| 150 nA | <600 μs | <5 ms | <12 ms | ||
| 設定方法 | 設定範囲 |
| NPLC | 0.00005 PLC ~ 10 PLC |
| Sampling Rate | 5 sps ~ 1 Msps |
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