電圧仕様

電圧精度	測定範囲	測定分解能	精度(1年) ^【1】 ±(%読み取り値+バイアス)	雑音の標準値 (有効値) 0.1 Hz-10 Hz
	±200 V^【2】	100 μV	0.03% + 10 mV	0.4 mV
	±40 V	10 μV	0.03% + 2 mV	100 μV
	±20 V	10 μV	0.03% + 1 mV	50 μV
	±2 V	1 μV	0.03% + 100 μV	10 μV
	±0.6 V	100 nV	0.03% + 50 μV	2 μV
温度係数	±(0.15×精度仕様)/℃(0℃-18℃，28℃-50℃)
オーバーショート	<±0.1%(Normal，ステップは範囲の10%から90%、測定範囲内の最大値、抵抗負荷テスト)
噪声 10Hz-20MHz	<5 mVrms （20 V電圧源，1 A抵抗負荷）

[1]精度計算の例：4.5Vレンジで1V 出力の精度をテストする場合、許容差は：

[2]本仪表には潜在的な危険な高圧（±210V）がHI /Sense HI/Guard 端子に出力されます。電撃を防ぐために、電源を入れる前に関連する安全対策を講じる必要があります。Guard 端子を任意の出力に接続しないでください。機器の地面や出力 LOに短絡することも含めて、そうしないと機器が損傷します。

電流仕様

電流精度	測定範囲	測定分解能	精度(1年) ±(%読み取り値+バイアス)	雑音の標準値 (有効値) 0.1Hz-10Hz
	±3 A^【3】	1 μA	0.03% + 2mA	20 μA
	±1 A	100 nA	0.03% + 90 μA	4 μA
	±100 mA	10 nA	0.03% + 9 μA	600 nA
	±10 mA	1 nA	0.03% + 900 nA	60 nA
	±1 mA	100 pA	0.03% + 90 nA	6 nA
	±100 μA	10 pA	0.03% + 9 nA	700 pA
	±1 μA^【4】	100 fA	0.03% + 200 pA	20 pA
	±10 nA^{【4】【5】}	10 fA	0.06% + 9 pA	600 fA
	±1 nA^{【4】【5】}	1 fA	0.1% + 3 pA	60 fA
	±100 pA^{【4】【5】}	1 fA	0.3% + 1 pA	30 fA
温度係数	±(0.15×精度仕様)/℃(0℃-18℃，28℃-50℃)
オーバーショート	<±0.1%(20V電圧測定範囲，Normal，ステップは範囲の10%から90%、測定範囲内の最大値、抵抗負荷テスト)

[3]3A 量程のみパルスモードをサポートし、精度は典型値です

[4]微弱小電流測定については、三同軸ケーブル接続を維持することをお勧めします。三同軸端子を通常の接続方式に変更すると、計器の電流精度に影響を与える可能性があります

[5]附加仕様条件：NPLC 構成 10PLC

パルス仕様（4線式）

プログラミング可能な最小パルス幅	100 μs
パルス幅プログラミング分解能	1 μs
パルス幅プログラミング精度	±10 μs
パルス幅ジッター	2 μs
パルス幅の定義	次の図に示すように、10 %の先頭から90 %の立ち下がり区間までの時間

パルス技術仕様	最大電流制限	最大パルス幅	最大デューティ比
1	0.1 A/200 V	DC、無制限	100%
2	1 A/20 V	DC、無制限	100%
3	3 A/66.6 V	1 ms	5%
4	3 A/160 V	400 μs	2%

パルス立ち上がり時間(4線式)

出力	最大出力	標準立ち上がり時間 ¹	標準安定時間²	テスト負荷
電圧源	160 V	800 μs	1.2 ms	無負荷
電圧源	5 V	40 μs	100 μs	無負荷
電流源	3A~100 μA	90 μs	250 μs	全負荷時³
	100 μA	120 μs	400 μs	全負荷時³
	1 μA	300 μs	600 μs	全負荷時³
	10 nA	5 ms	10 ms	全負荷時³
	1 nA	10 ms	50 ms	全負荷時³
	100 pA	100 ms	500 ms	全負荷時³

1、パルスの先頭が10%から90%までの所要時間

2、パルスが最終値まであと1%に達するまでの所要時間

3、テスト条件:normal純抵抗全負荷電圧が4.5Vに上昇

出力セットアップ時間

出力	測定範囲	標準出力セットアップ時間¹			テスト要件
出力	測定範囲	Fast²	Normal	Slow	テスト要件
電圧源	200 V	<500 μs	<1 ms	<2 ms	開回路条件下で、最終値まであと0.1％以内に達するまでの所要時間。ステップは範囲の10％から90％になります。
	40 V	<200 μs	<400 μs	<900 μS
	20 V	<60 μs	<100 μs	<500 μs
	2 V	<50 μs	<50 μs	<50 μs
	0.6 V	<50 μs	<50 μs	<50 μs
電流源	3 A~1 mA	<50 μs	<100 μs	<0.8 ms	Normal条件で全負荷の場合、電圧出力は6Vに達します。最終値まであと0.1％以内に達するまでの(3Aの範囲の場合は0.3％)所要時間。ステップは範囲の10%から90%になります。
	100 μA	<100 μs	<150 μs	<0.8 ms
	1 μA	<300 μs	<400 μs	<1 ms
	10 nA	<10 ms	<10 ms	<10 ms
	1 nA	<50 ms	<50 ms	<50 ms
	100 pA	<500 ms	<500 ms	<500 ms

サンプリングレートとNPLCの設定

設定方法	設定範囲
NPLC	0.00005 PLC ~ 10 PLC
Sampling Rate	5 sps ~ 1 Msps

1、出力スルーレート: Fast、Normal、Slow。ユーザーは自分で負荷特性に応じてAPFCパラメータを調整して、適切なセットアップ時間や安定性を得ることができます

2、Fastモードは、異なる測定範囲や負荷条件で出力する場合、大きなオーバーシュートを引き起こす可能性があり、オーバーシュートに対する感度が高い機器にはnormalモードまたはSlowモードをお勧めします

測定精度のディレーティング (PLC<1)

誤差が増大する測定範囲のパーセンテージ

PLC	測定範囲
	0.6 V	2 V	20 V	40 V	200 V	100pA～ 1 μA	100μA～ 100 mA	1A～ 3A
	0.6 V	2 V	20 V	40 V	200 V	100pA～ 1 μA	100μA～ 100 mA	1A～ 3A
0.1	0.02%	0.02%	0.01%	0.01%	0.01%	0.02%	0.01%	0.01%
0.01	0.30%	0.30%	0.30%	0.03%	0.02%	0.20%	0.02%	0.02%
0.001	3.20%	3.20%	3.20%	0.40%	0.10%	2.50%	0.03%	0.03%