電圧ソースメーター仕様

電圧精度	測定範囲	測定分解能	精度(1年)±(%読み取り値+バイアス)	雑音の標準値（有効値）0.1 Hz-10 Hz
	±200 V	100 μV	0.03%+10 mV	0.4 mV
	±40 V	10 μV	0.03%+2 mV	100 μV
	±20 V	10 μV	0.03%+1 mV	50 μV
	±2 V	1 μV	0.03%+100 μV	10 μV
	±0.6 V	100 nV	0.03%+50 μV	2 μV
温度係数	±(0.15 × 精度仕様)/℃ (0℃-18℃、28℃-50℃)
時間の設定	<50 μs（標準値）
オーバーショート	<±0.1%(標準値、Normal、ステップは範囲の10%から90%、測定範囲内の最大値、抵抗負荷テスト)
ノイズ 10Hz-20MHz	20V電圧源、1A抵抗負荷、<5 mVrms

電流ソースメーター仕様

電流設定精度	測定範囲	測定分解能	精度(1年) ±(%読み取り値+バイアス)	雑音の標準値 (有効値) 0.1 Hz-10 Hz
	±3 A¹	1 μA	0.03% + 2mA	20 μA
	±1 A	100 nA	0.03% + 90 μA	4 μA
	±100 mA	10 nA	0.03% + 9 μA	600 nA
	±10 mA	1 nA	0.03% + 900 nA	60 nA
	±1 mA	100 pA	0.03% + 90 nA	6 nA
	±100 μA	10 pA	0.03% + 9 nA	700 pA
	±1 μA	100 fA	0.03% + 200 pA	20 pA
	±10 nA²	10 fA	0.06% +9 pA	600 fA
	±1 nA²	1 fA	0.1% +3 pA	60 fA
	±100 pA²	1 fA	0.3% +1 pA	30 fA
温度係数	±(0.15 × 精度仕様)/℃ (0℃-18℃、28℃-50℃)
時間の設定	<100 μs（標準値）
オーバーショート	<±0.1%(標準値、Normal、ステップは範囲の10%から90%、測定範囲内の最大値、抵抗負荷テスト)

1、3A測定範囲はパルスモードにのみ対応しており、精度は標準値

2、追加仕様条件:NPLCを10PLCに設定

プログラミング可能な最小パルス幅	100 μs
パルス幅プログラミング分解能	1 μs
パルス幅プログラミング精度	±10 μs
パルス幅ジッター	2 μs
パルス幅の定義	次の図に示すように、10 %の先頭から90 %の立ち下がり区間までの時間

1、パルスの先頭が10%から90%までの所要時間。

2、パルスが最終値まであと1%に達するまでの所要時間。

3、テスト条件:normal純抵抗全負荷電圧が4.5Vに上昇

出力	測定範囲	標準出力セットアップ時間¹			テスト要件
出力	測定範囲	Fast²	Normal	Slow	テスト要件
電圧源	200 V	<500 μs	<1 ms	<2 ms	開回路条件下で、最終値まであと0.1％以内に達するまでの所要時間。ステップは範囲の10％から90％になります。
	40 V	<200 μs	<400 μs	<900 μS
	20 V	<60 μs	<100 μs	<500 μs
	2 V	<50 μs	<50 μs	<50 μs
	0.6 V	<50 μs	<50 μs	<50 μs
電流源	3 A~1 mA	<50 μs	<100 μs	<0.8 ms	Normal条件で全負荷の場合、電圧出力は6Vに達します。最終値まであと0.1％以内に達するまでの(3Aの範囲の場合は0.3％)所要時間。ステップは範囲の10%から90%になります。
	100 μA	<100 μs	<150 μs	<0.8 ms
	1 μA	<300 μs	<400 μs	<1 ms
	10 nA	<10 ms	<10 ms	<10 ms
	1 nA	<50 ms	<50 ms	<50 ms
	100 pA	<500 ms	<500 ms	<500 ms

1、出力スルーレート: Fast、Normal、Slow。ユーザーは自分で負荷特性に応じてAPFCパラメータを調整して、適切なセットアップ時間や安定性を得ることができます。

2、Fastモードは、異なる測定範囲や負荷条件で出力する場合、大きなオーバーシュートを引き起こす可能性があり、オーバーシュートに対する感度が高い機器にはnormalモードまたはSlowモードをお勧めします。

誤差が増大する測定範囲のパーセンテージ