序号

システム大類

子類

説明

1

並行 WATテストシステム機架

システム主機キャビネット

包括机柜、EMOモジュール、電源配分ユニット

ワークステーションおよびシステムソフトウェア

Win10ワークステーション、ptSemightテストソフトウェア

電容計

外购（オプション）：

1fF〜100nFの測定範囲

電圧計

外购（オプション）：

7 位半以上の解像度

信号分析器

外购（オプション）：

9K~10M 周波数範囲

PXIeシャーシ

外购（オプション）：

SPGUの数量に適合する

HV-SPGU

S3023P（オプション）：

占位 2 槽，±40V（開路）、±20V（50Ω）

2

並行 WATテストシステムテスト头

テストヘッドホスト

包括テストヘッド主機体に基づき、出力チャネルに応じてピンボードの数を設定します

ピンボード

S2018G（オプション）：

各チャネルのピンボードには、Perpin SMUとPerpin PGUが含まれています

パーパインSMU：±200V，±1A，100nV/1fA

パーピン PGU: ±20V（開路）

外部計器インターフェース

デフォルト設定：

8 通道 BNC 入力インターフェース

テスト目標

Si/GaN/SiC 等半導体デバイスのウエハレベルWATテスト、WLRテスト

テスト項目（に限らず）

IV/CV

Id-Vd，Id-Vg，Vth，BV，Ig，Ioff，Gm

MIM_CAP，C & G

Ic-Vc，BETA，BV

Ron，R_tlm，Rsh_van

Spot，Sweep，Search

Kelvin & Non-Kelvin

Differential Voltage

頻度

Frequency

信頼性

HCI，BTI/NBTI，TDDB

Perpin直流テスト

テスト機器

Semight S2018G

テスト機能

単点、スキャンなど

テスト範囲

S2018G：1fA to 1A 100nV to 200V

Perpin高速パルス信号生成

信号発生器

Semight S2018G

信号幅度

±20V（開路）

信号周波数

0.1Hz to 5MHz

信号パルス幅

100 ns to (脈冲周期– 100 ns)

信号エッジ

<100 ns（典型値50ns）

外部高速パルス信号生成

信号発生器

Semight S3023P

信号幅度

±40V（開路）, ±20V（50Ω負荷）

信号周波数

0.1Hz to 10MHz

信号パルス幅

60 nS to (脈冲周期- 60 nS)

信号エッジ

20 nS（Vamp < 5V, 負荷開路）

電容テスト

テスト機器

商用計器

テスト機能

C/G

テスト頻度

1kHz，10kHz，100kHz，and 1MHz

テスト範囲

1fF to 100nF

直流バイアス

±40 V

差分電圧テスト

テスト機器

商用DVM

テスト範囲

1µV to 100V

信号分析

分析計

商用仪表

周波数範囲

9K to 20M Hz