序号

システム大類

子類

説明

1

串行 WATテストシステムラック

システム主機キャビネット

包括システムキャビネット、EMOモジュール、電源配分ユニット

ワークステーションおよびシステムソフトウェア

Win10ワークステーション、ptSemightテストソフトウェア

電容計

外购（オプション）：

1fF〜100nFの測定範囲

電圧計

外购（オプション）：

7 位半以上の解像度

信号分析器

外购（オプション）：

9K~10M 周波数範囲

2

串行 WATテストシステムテストヘッド

测试头主机柜，

PXIe机箱

包括テストヘッド主機体、SMU、SPGU 数量に適合したPXIeシャーシ

低漏电流开关矩阵

RM1010-LLC：

低漏電流スイッチマトリックス主機は、14チャンネル入力をサポートし、最大 4 枚のR1010G-LLCサブカードを挿入でき、48チャンネル出力をサポートし、独立専用のチャック出力があります

R1010G-LLC（オプション）：

低漏電流スイッチマトリックス子カード、8チャンネル出力 12チャンネル出力、200V、1A、<100fA@10V（低漏電流チャンネル）

源测量单元（SMU）

S2012C（オプション）：

占位 1 槽、200V、1A、100nV/10fA

S2016C（オプション）：

占位 1 槽、200V、1A、100nV/1fA

高压脉冲发生单元(SPGU)

S3023P（オプション）：

占位 2 槽、±40V（オープン）、±20V（50Ω）

テスト目標

Si/GaN/SiC 等半導体デバイスのウエハレベルWATテスト、WLRテスト

テスト項目（に限らず）

IV/CV

Id-Vd，Id-Vg，Vth，BV，Ig，Ioff，Gm

MIM_CAP，C & G

Ic-Vc，BETA，BV

Ron，R_tlm，Rsh_van

Spot，Sweep，Search

Kelvin & Non-Kelvin

Differential Voltage

頻度

Frequency

信頼性

HCI，BTI/NBTI，TDDB

直流テスト

テスト機器

Semight S2012C，S2016C

テスト機能

単点、スキャンなど

テスト範囲

S2012C：10fA to 1A 100nV to 200V

S2016C: 1fA to 1A 100nV to 200V

電容テスト

テスト機器

商用計器

テスト機能

C/G

テスト頻度

1kHz，10kHz，100kHz，and 1MHz

テスト範囲

1fF to 100nF

直流バイアス

±40 V

差分電圧テスト

テスト機器

商用DVM

テスト範囲

1µV to 100V

高速パルス信号生成

信号発生器

Semight S3023P

信号幅度

±40V（開路）、±20V（50Ω負荷）

信号周波数

0.1Hz to 10MHz

信号パルス幅

60 ns to (脈冲周期- 60 ns)

信号エッジ

20 ns（Vamp < 5V, 負荷開路）

信号分析

分析計

商用計器

周波数範囲

9K to 10M Hz

低圧低漏電流スイッチマトリックス

スイッチマトリックス

Semight RM1010-LLC

出力チャネル

x12, x24, x36, x48

仪表接口: 計器インターフェース

最高で8ポートの同時入力をサポートし、そのうち2ポートは電漏電流入力をサポートしています

最高 14ポート入力、外部計器のシリアルテスト用に2つの4 選 1ポートを含む

両端口の二択出力をチャックに送る