通信機器-WAT-半導体パラメータ試験-シリアル-高圧半導体-蘇州聯訊計器株式会社

特徴

自研核心仪表
自研高、低圧源表、高、低圧電漏電流スイッチマトリックス、
自主的に制御可能で、ユーザーのサプライチェーンの納品リスクを低減します
資源能力が強い
高圧 SMU 出力能力 3500V 最大、120mA 最大、
現在の主流 SiC、GaNデバイスの電圧ニーズを全面的にカバーしています
ピン数の柔軟な設定
最大 48ピンの全開ルビン接続をサポートします
精度が高い
精度は1pAに達し、システムの漏れ電流は＜1pAです
可測量更低級別的漏電流參數
SECS/GEMをサポートしています
顧客 EAPに接続可能で、遠隔監視が容易になり、作業効率が向上します
すべての主流プローバーをサポートしています
TEL P8XL/P12/P12XL/Precio XL、TSK UF200/UF3000/UF3000EX 等
主流の48ピン円形ピンカードに適合
低コストの串並テスト変換
高効率のptSemightソフトウェア環境
自研高効率並列アルゴリズム
集成 CAL/DIAG/PVソフトウェア

序号	システム大類		子類	説明
1	串行 WATテストシステムラック	システム主機キャビネット		包括机柜、EMOモジュール、電源配分ユニット
		ワークステーションおよびシステムソフトウェア		Win10ワークステーション、ptSemightテストソフトウェア
		電容計		外購（オプション）： 1fF〜100nFの測定範囲
		電圧計		外购（オプション）： 7 位半以上の解像度
		信号分析器		外购（オプション）： 9K~10M 周波数範囲
		垂直型高圧スイッチマトリックス		RM1012-HV（オプション）：支持 2 通道低圧（200V）、1 通道高圧（3500V）、1 通道 CMU 入力、内蔵 CMUのHVバイアスは最大 3000V、1 通道出力はCHUCKへ
		高圧源測定ユニット（HVSMU）		オプション: 3500V、120mA、100uV/10fA（Semight S3030F） 1100V、1A、100nV/10fA（商用計器）
2	串行 WATテストシステムテストヘッド	テストヘッドホスト		包括テストヘッド主機体、SMU、SPGU 数量に適合したPXIeシャーシ
		PXIeシャーシ		RM1010-LLC（オプション）：低漏電流スイッチマトリックス主機は、14チャンネル入力をサポートし、最大 4 枚のR1010G-LLC 子カードを挿入することで48チャンネル出力をサポートします[1] R1010G-LLC（オプション）：低圧低漏電流スイッチマトリックス子カード、単一カード12チャンネル出力、200V、1A、<100fA@10V（低漏電流チャンネル）
		低圧低漏電流スイッチマトリックス		RM1013-HV（オプション）：汎用型高圧スイッチマトリックスホストは、10チャンネル入力をサポートし、2チャンネル3500V 高圧入力を支え、最大 3 枚のR1013G-HVサブカード挿入により24チャンネル出力をサポートします R1013G-HV（オプション）：通用型高圧スイッチマトリックス子カード、単一カード8チャンネル出力、各チャンネルは3500V、1A、<1pA@10V（高圧入力チャンネル）をサポートしています
		通用型高圧スイッチマトリックス		S2012C（オプション）：占位 1 槽、200V、1A、100nV/10fA S2016C（オプション）：占位 1 槽、200V、1A、100nV/1fA
		源測定ユニット（SMU）		S3023P（オプション）：占位 2 槽、±40V（オープン）、±20V（50Ω）

[1] 48 通道出力電圧は600Vまでしかサポートしておらず、24 通道出力は3500VまでサポートできますV

システム機能の概要

テスト目標
Si/GaN/SiC 等半導体デバイスのウエハレベルWATテスト、WLRテスト
テスト項目（に限らず）
IV/CV	Id-Vd，Id-Vg，Vth，BV，Ig，Ioff，Gm
	MIM_CAP，C & G
	Ic-Vc，BETA，BV
	Ron，R_tlm，Rsh_van
	Spot，Sweep，Search
	Kelvin & Non-Kelvin
	Differential Voltage
頻度	Frequency
信頼性	HCI，BTI/NBTI，TDDB
直流テスト
テスト機器	Semight S2012C，S2016C, S3030F, 商用計器
テスト機能	単点、スキャンなど
テスト範囲	S2012C：10fA to 1A 100nV to 200V
	S2016C: 1fA to 1A 100nV to 200V
	S3030F: 10fA to 120mA 100uV to 3500V
	商用計器MVSMU: 10fA to 1A 100nV to 1000V
電容テスト
テスト機器	商用計器
テスト機能	C/G
テスト頻度	1kHz，10kHz，100kHz，and 1MHz
テスト範囲	1fF to 100nF
常规直流偏置	±40 V
高圧直流偏置	±3000 V
差分電圧テスト
テスト機器	商用DVM
テスト範囲	1µV to 100V
高速パルス信号生成
信号発生器	Semight S3023P
信号幅度	±40V（開路）、±20V（50Ω負荷）
信号周波数	0.1Hz to 10MHz
信号パルス幅	60ns to (脈冲周期- 60ns)
信号エッジ	20ns（Vamp < 5V, 負荷開路）
信号分析
分析計	商用計器
周波数範囲	9K to 10M Hz
低圧低漏電流スイッチマトリックス
スイッチマトリックス	Semight RM1010-LLC
出力チャネル	x12, x24, x36, x48
入力インターフェース	最高で8ポートの同時入力をサポートし、そのうち2ポートは電漏電流入力をサポートしています
入力インターフェース	最高 14ポート入力、外部計器のシリアルテスト用に2つの4 選 1ポートを含む
垂直型高圧スイッチマトリックス
スイッチマトリックス	Semight RM1012-HV
出力チャネル	x1
入力インターフェース	最高支持 4 端口入力、2チャンネル低圧（200V）、1チャンネル高圧（3500V）、1チャンネルCMU 入力、内蔵 CMU HVバイアスは最大 3000Vまで対応
通用型高圧スイッチマトリックス
スイッチマトリックス	Semight RM1013-HV
出力チャネル	x8, x16, x24，CHUCK
入力インターフェース	最高 10 端口入力、6 端口同時入力、外部計器のシリアルテスト用に2つの三選一ポートを含み、両端口の入力電圧は3500Vに達します

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システム機能の概要