序号

モデル

製品名

説明

1

WAT6300

垂直型高圧串列 WATテスト機

3500V，1Adc，100nV/1fA，48Pin^[1]， CHUCK 高圧および正面 1 路高圧のみサポートしています

2

WAT6310

通用型中压串列WATテスト機

1800V，1Adc.100nV/1fA，48Pin^[1]， 汎用型

3

WAT6315

通用型中压串列WATテスト機

1800V，1Adc.100nV/1fA，48Pin^[1]  full kelvin，Cable Out， 汎用型

4

WAT6330

通用型高压串列WATテスト機

3500V，1Adc，100nV/1fA，24Pin， 汎用型

子クラス

説明

ワークステーションおよびシステムソフトウェア

Win10ワークステーション，ptSemightテストソフトウェア

電容計

外购（可选配）：

1fF~100nF測定範囲

電圧計

外购（可选配）：

7 位半以上の解像度

信号分析器

外购（可选配）：

9K~10M周波数範囲

垂直型高圧スイッチマトリックス(WAT6300)

RM1012-HV（可选配）：

支持 2 GH低压（200V），1 CH高压（3500V），1CH CMU入力，内置 CMU 的 HV-bias 可达 3000V，2CH高圧出力

低圧低漏電流スイッチマトリックス(WAT6300)

RM1010-LLC（可选配）：

低漏電流スイッチマトリックスホスト、14チャンネル入力をサポートし、最大 4 枚のR1010G-LLCサブカード挿入で48チャンネル出力をサポート^[1]

R1010G-LLC（可选配）：

低圧低漏電流スイッチマトリックス子カード、単一カード12チャンネル出力、200V、1A、<100fA@10V（低漏電流チャンネル）

通用型中压开关矩阵(WAT6310/WAT6315)

RM1014-MV（可选配）：

通用型中压开关矩阵主机，支持 12 通道入力、2 通道 1800V 中圧入力、
最大 4 枚 R1014G-MV 子カード挿入で48 通道出力をサポート^[1]

R1014G-MV（可选配）：

通用型中压开关矩阵子卡、単張カード12チャンネル出力、各チャンネルは1800V、1A、<1pA@10V（中圧入力チャンネル）をサポートしています

通用型高压开关矩阵(WAT6330)

RM1013-HV（可选配）：

通用型高圧スイッチマトリックスホスト、10チャンネル入力をサポートし、2チャンネル3500V 高圧入力を支え、最大 3 枚のR1013G-HVサブカード挿入で24チャンネル出力をサポートします

R1013G-HV（可选配）：

通用型高压开关矩阵子卡、単張カード8チャンネル出力、各チャンネルは3500V、1A、<1pA@10V（高圧入力チャンネル）をサポートしています

高圧源測定ユニット（HVSMU）

可选配：

3500V， 120mA， 100uV/10fA（Semight S3030F）

1100V， 1A， 100nV/10fA（商用計器）

PXIeシャーシ

SMU、SPGU 数量に適合したPXIeシャーシ

源測定ユニット（SMU）

S2012C（可选配）：

占位1槽，200V，1A，100nV/10fA

S2016C（可选配）：

占位1槽，200V，1A，100nV/1fA

高圧パルス発生ユニット(SPGU)

S3023P（可选配）：

占位2槽，±40V（Open）， ±20V（50Ω）

テスト目標

Si/GaN/SiC 等半導体デバイスのウェーハレベルWATテスト、WLRテスト

テスト項目（に限らず）

IV/CV

Id-Vd，Id-Vg，Vth，BV，Ig，Ioff，Gm

MIM_CAP，C & G

Ic-Vc，BETA，BV

Ron，R_tlm，Rsh_van

Spot，Sweep，Search

Kelvin & Non-Kelvin

Differential Voltage

周波数

Frequency

信頼性

HCI，BTI/NBTI，TDDB

直流テスト

テスト機器

Semight S2012C，S2016C， S3030F， 商用計器

テスト機能

単点、スキャンなど

テスト範囲

S2012C：10fA to 1A 100nV to 200V

S2016C： 1fA to 1A 100nV to 200V

S3030F： 10fA to 120mA  100uV to 3500V

商用計器MVSMU： 10fA to 1A  100nV to 1000V

電容テスト

テスト機器

商用計器

テスト機能

C/G

テスト周波数

1kHz，10kHz，100kHz，and 1MHz

テスト範囲

1fF to 100nF

常规直流偏置

±40 V

高圧直流偏置

±3000 V

差分電圧テスト

テスト機器

商用DVM

テスト範囲

1µV to 100V

高速パルス信号生成

信号発生器

Semight S3023P

信号幅度

±40V（Open）， ±20V（50Ω負荷）

信号周波数

0.1Hz to 10MHz

信号パルス幅

60ns to (脈冲周期- 60ns)

信号エッジ

20ns（Vamp < 5V， 負荷開路）

信号分析

分析計

商用計器

周波数範囲

9K to 10M Hz

低圧低漏電流スイッチマトリックス

スイッチマトリックス

Semight RM1010-LLC

出力チャネル

x12， x24， x36， x48

入力インターフェース

最高で8ポートの同時入力をサポートし、そのうち2ポートは電流漏れ入力をサポートしています

最高 14 端口入力、外部計器のシリアルテスト用に2つの4 選 1ポートを含む

垂直型高圧スイッチマトリックス

スイッチマトリックス

Semight RM1012-HV

出力チャネル

x2

入力インターフェース

最高支持 4 端口入力、2チャンネル低圧（200V）、1チャンネル高圧（3500V）、1チャンネルCMU 入力、内蔵 CMU HVバイアスは最大 3000Vまで対応

通用型高圧スイッチマトリックス

スイッチマトリックス

Semight RM1013-HV

出力チャネル

x8， x16， x24，CHUCK

入力インターフェース

最高 10 端口入力、6 端口同時入力、外部計器のシリアルテスト用に2つの三選一ポートを含み、両端口の入力電圧は3500Vに達します

通用型中压开关矩阵

スイッチマトリックス

Semight RM1014-MV

出力チャネル

x12， x24， x36，x48

入力インターフェース

最高 12 端口入力、8 端口同時入力、外部計器のための2つの三選一ポートを含むシリアルテスト、両端口の入力電圧は1800Vに達します