Waferレベルバーンインテスター
WLR3500
晶円級老化システム
WLR3500ウエハレベル老化システムは、高性能なSiCウエハ老化テスト装置であり、6 枚のウエハを同時に高温ゲートバイアス（HTGB）老化および高温逆バイアス（HTRB）老化を行うことができます。老化テストの時間範囲は数分から数十時間まで広がり、さらには数千時間に拡張可能で、さまざまな製品の老化ニーズに応えます。老化条件の設定をサポートし、各ダイの閾値電圧（Vth）を正確に検出することができます。システムの各チャネルには独立した過電流保護機能が装備されており、測定対象デバイスの安全性を確保します。システムはマッピング分析データ（Mapデータ）を生成でき、ユーザーが詳細な性能分析と品質管理を行うことができます。このシステムは、研究開発アプリケーションに柔軟な構成オプションを提供し、高容量の生産アプリケーションにも適しています。
特徴
自動切替老化
システムは最大 6つのウェーハのGBとRBの老化自動切り替えを同時にサポートしています
独立温度制御と加電
各引き出しは独立した温度制御と電力供給システムを備えています
広い電圧範囲
システムはHTGB 電圧±70VおよびHTRB 電圧＜2000Vをサポートしています
マルチチャネルをサポート
最大 4320チャンネル（720*6）をサポートしています
高精度テスト
老化過程で、漏れ電流の測定分解能は0.1nAに達します。
ガス保護
高い信頼性を提供する～3Bar 大気圧のガス保護システム
広い温度範囲
温度制御範囲は40℃～175℃です
オンライン監視とテスト
オンライン監視 Igss、Idssなどの重要なパラメータをサポートし、Vthテストをサポートします機能と利点
製品構成
整機は最大で6つの単層に対応可能で、各層には1つの治具を適用し、各層の回路は独立して制御されます。これにより、異なる単層が異なるモードで動作でき、老化プランを呼び出すことで異なる老化検証を行うことができます|
序号 |
机型名称 |
配置モデル |
システムの特徴 |
|
1 |
晶円級老化システム主機架 |
WLR3500-M |
ホスト+ソフトウェア、HTGB+HTRB 備考：HTGB+HTRB：満配 6 層 |
|
2 |
晶円級老化システム単層 |
WLR3500-L |
- HTGBとHTRBは自動的に切り替え可能です - IgssとIdssの漏電設定をスキャンできます - 集成 Vthパラメータテスト - 柔軟な老化計画の設定 - MapデータはCPテストに接続できます - 高密度プローブカードおよび高圧チャックのサポート 高精度かつ高信頼性の加熱および温度制御システム - 6インチウェーハ - フルタッチ、一次老化すべてのダイ、最大 720 個のダイ。 - 1 年無料メンテナンス 備考：HTGB+HTRB 満配 6 層 |
|
3 |
晶円級老化システム治具 |
WLR3500-F |
- SiCウエハの劣化に関するHTGB+HTRB - 6 寸 |
|
4 |
晶円上下料システム |
AL3500A |
-ウェーハのアライメントと治具の自動取り付けをオペレーターが支援して完了することができます - 6インチウェーハの自動ロード/アンロードをサポート |
|
序号 |
机型名称 |
配置モデル |
システムの特徴 |
|
1 |
晶円級老化システム主機架 |
WLR3500-M |
主機+ソフトウェア、HTGB 備考：HTRBを追加できます。HTGB+HTRB：満配 6 層 |
|
2 |
晶円級老化システム単層 |
WLR3500-L |
- HTGBとHTRBは自動的に切り替え可能です - Igss 漏電配置はスキャン可能です - 集成 Vthパラメータテスト - 柔軟な老化計画の設定 - MAPデータはCPテストに接続できます - 高密度プローブカードおよび高圧チャックのサポート 高精度かつ高信頼性の加熱および温度制御システム - 6インチウェーハ - フルタッチ、一次老化すべてのダイ、最大 720 個のダイ。 - 1 年無料メンテナンス 備考：HTRBを追加できます HTGB+HTRB：満配 6 層 |
|
3 |
晶円級老化システム治具 |
WLR3500-F |
- SiCウエハの劣化に対するHTGB+HTRB - 6 寸 |
|
4 |
晶円上下料システム |
AL3500A |
-ウェーハのアライメントと治具の自動取り付けをオペレーターが支援して完了することができます - 6インチウェーハの自動ロード/アンロードをサポート |
その他おすすめ
情報通信の基盤である光通信ネットワークはビッグデータ、クラウドコンピューティング、5G通信など社会の幸せと技術の進化を支える重要な役割を果たしています。蘇州聯訊の光通信関連設備は光モジュールや光学機器など基盤製品の生産プロセス、検査プロセスに使用されるサンプリングオシロスコープ、BERメーター、波長測定計、分光器、流量計及び汎用光学計測機器などをラインナップし、マーケットにコミットしたトータルソリューションをご提供します。
Details
蘇州聯訊の高精度ソースメーターは優れた操作性を維持しながら、安定した電圧（DC/AC）、電流（DC/AC）の供給と高い測定精度を実現した電子負荷装置で、産業用や研究開発用として幅広く製品を展開してきました。
Details
LDのバーンインテストは、LDの信頼性を確保するための重要なテスト手法として産業用プロセスに広く活用されています。COC、COSまたはDIEのバーンインテストを通じて、LD生産プロセスによる欠陥を早期に発見し、後工程でのLDの故障や不良を防止できます。LDスクリーニングによる廃却損失の低減、サイクルタイムの向上、工程内のムダを発見することでチップ生産の効率を大幅に向上させます。蘇州聯訊はDIEからCOCまで、高温から-40℃の低温まで、トータルソリューションを提供し、多様なお客様の要件にお応えします。
Details
半導体のフロントエンドテストは主にウェハーの加工プロセスで実施されます。これにより、ウェハー製造プロセスの各工程の指標、閾値、パラメータ要件などは設計の目標値を満たしているかを確認し、良品率に影響を与える欠陥を早期に発見することができます。
Detailsメールアド
サービスホ
サービスホ
氏名
メールアドレス
メールアドレスの認証コード
電話番号
パスワード
パスワードを確認
メールアドレス
メールアドレスの認証コード
新しいパスワード
パスワードを確認
プロトタイプの申し込み
