単一チャンネル PXIe 高精度SMU-聯訊儀器

特徴

高精度
分解能は100 fA/100 nV
広い測定範囲、高速測定
±200 V、±1 A(DC)
±3 A (パルス)、
最大1Mのサンプリングレートに対応
Adaptive PFCシステム
Adaptive PFC
(Precise-Fast Control) システムを利用して、
ユーザーは負荷特性に応じて、関連するパラメータを調整できます
シングルチャネルテストシステムを構築
標準PXIeシャーシを使用することで、
総合的な4象限テストを簡単に実現

機能と利点

5つの機能を同時搭載
電圧源
電流源
電流計
電圧計
電子負荷
1、3象限をソースにする：出力V/Iの実際の極性はソースによって設定します。
2、4象限を負荷にする：CCとCVを組み合わせて、負荷として使われる場合、負荷設定極性はソース極性と逆になります。
各種のデバイスをテスト可能
より多くのテストデータを取得
♦ 6桁半のデジタル分解能：精度は6 1/2桁のデジタル回路計に相当します。
♦100 fA / 100 nVの分解能: 設定と測定の優れた感度。♦1Mポイント/秒: 高速に測定でき、任意の波形発生器（リスク掃引）を迅速に設定/デジタル化することができます。
多様なスキャン機能
DC I-V出力能力
パルスI-V出力能力

電圧仕様

電圧精度	測定範囲	分解能	精度(1年)±(%読み取り値+バイアス)^[1]	雑音の標準値（有効値）0.1 Hz-10Hz
	±200 V^[2]	100 μV	0.03%+10 mV	400 μV
	±20 V	10 μV	0.03%+1 mV	50 μV
	±6 V	1 μV	0.03%+0.4 mV	9 μV
	±0.6 V	100 nV	0.03%+100 μV	2 μV
温度係数	±(0.15 × 精度仕様)/°C (0℃-18℃、28℃-50℃)
オーバーショート	<±0.1%(標準値、Normal、ステップは範囲の10%から90%、測定範囲内の最大値、抵抗負荷テスト)
ノイズ 10Hz-20MHz	20V電圧源、1A抵抗負荷、<5 mVrms

[1] 精度計算の例：600mVレンジで120mV 出力の精度をテストする場合、許容差は：

[2] 本仪表には潜在的な危険な高圧（±210 V）がHI /Sense HI/Guard 端子に出力されます。電撃を防ぐために、電源を入れる前に関連する安全対策を講じる必要があります。Guard 端子を任意の出力に接続しないでください。機器の地面や出力 LOに短絡することも含めて、そうしないと機器が損傷します

電流仕様

電流精度	測定範囲	分解能	精度(1年)±(%読み取り値+バイアス)	雑音の標準値（有効値）0.1 Hz-10Hz
	±3 A^[3]	1 μA	0.03% + 2 mA	40 μA
	±1 A	100 nA	0.03% + 90 μA	7 μA
	±100 mA	10 nA	0.03% + 9 μA	600 nA
	±10 mA	1 nA	0.03% + 900 nA	60 nA
	±1 mA	100 pA	0.03% + 90 nA	6 nA
	±100 μA	10 pA	0.03% + 9 nA	700 pA
	±10 μA	1 pA	0.03% +1 nA	80 pA
	±1 μA^[4]	100 fA	0.03% + 200 pA	20 pA
温度係数	±(0.15 × 精度仕様)/°C (0℃-18℃、28℃-50℃)
オーバーショート	<±0.1%(標準値、Normal、ステップは範囲の10%から90%、測定範囲内の最大値、抵抗負荷テスト)

[3] 3A測定範囲はパルスモードにのみ対応しており、精度は標準値

[4] 微小電流測定は、トライアキシャル・ケーブルを使用することをおすすめします。Hiは芯線に接続し、Guardは内部遮蔽層に接続し、外部遮蔽層は保護接地し、LOは芯線に接続し、内部遮蔽層は接続なし、外部遮蔽層は保護接地し、同軸ケーブルの定格絶縁電圧は250V以上

パルス仕様

プログラミング可能な最小パルス幅		100 μs
パルス幅プログラミング分解能		1 μs
パルス幅プログラミング精度		±10 μs
パルス幅ジッター		2 μs
パルス幅の定義		次の図に示すように、10 %の先頭から90 %の立ち下がり区間までの時間

最大電流制限	最大パルス幅	最大デューティ比
0.1 A/200 V	DC、無制限	1
1 A/20 V	DC、無制限	1
3 A/66.6 V	1 ms	0.05
3 A/160 V	400 μs	0.02

パルス立ち上がり時間

出力	最大出力	標準立ち上がり時間 ^[5]	標準安定時間^[6]	テスト負荷
電圧源	160 V	800 μs	1.2 ms	無負荷
電圧源	5 V	50 μs	100 μs	無負荷
電流源	10 A~100 μA	90 μs	250 μs	全負荷時^[7]
	10 μA	150 μs	400 μs	全負荷時^[7]
	1 μA	800 μs	1.2 ms	全負荷時^[7]

[5] パルスの先頭が10%から90%までの所要時間

[6] パルスが最終値まであと1%に達するまでの所要時間

[7] テスト条件:normal純抵抗全負荷電圧が6Vに上昇

出力セットアップ時間

出力	測定範囲	標準出力セットアップ時間^[8]
出力	測定範囲	Fast^[9]	Normal	Slow
電圧源	200 V	<600 μs	<1.2 ms	<2 ms
	20 V	<80 μs	<150 μs	<800 μs
	6 V	<60 μs	<100 μs	<300 μs
	0.6 V	<60 μs	<60 μs	<60 μs
電流源	3 A~1 mA	<100 μs	<180 μs	<0.8 ms
	100 μA~10 μA	<150 μs	<250 μs	<0.8 ms
	1 μA	<1 ms	<1 ms	<1 ms

[8] 出力スルーレート: Fast、Normal、Slow。ユーザーは自分で負荷特性に応じてAPFCパラメータを調整して、適切なセットアップ時間や安定性を得ることができます

[9] Fastモードは、異なる測定範囲や負荷条件で出力する場合、大きなオーバーシュートを引き起こす可能性があり、オーバーシュートに対する感度が高い機器にはnormalモードまたはSlowモードをお勧めします

サンプリングレートとNPLCの設定

設定方法		設定範囲
NPLC		0.00005 PLC ~ 10 PLC
Sampling Rate		5 sps ~ 1 Msps

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