12チャンネル PXIe 高精度SMU-聯訊儀器

特徴

広い測定範囲、高速測定
±10 V、±50 mA(DC/パルス)
高精度
1pA/1μV分辨率
最大サンプリングレート1MS/s
Adaptive PFCシステム
Adaptive PFC
(Precise-Fast Control) システムを利用して、
ユーザーは負荷特性に応じて、関連するパラメータを調整できます
センシングモード
2 線式または4 線式（リモートセンシング）接続をサポート
最大センシングリード抵抗：1kΩ（定格精度）
リモート出力端子とセンシング端子間の最大電圧：0.5V

機能と利点

5つの機能を同時搭載
電圧源
電流源
電流計
電圧計
電子負荷
1、3象限をソースにする：出力V/Iの実際の極性はソースによって設定します。
2、4象限を負荷にする：CCとCVを組み合わせて、負荷として使われる場合、負荷設定極性はソース極性と逆になります。
各種のデバイスをテスト可能
より多くのテストデータを取得
♦ 6桁半のデジタル分解能：精度は6 1/2桁のデジタル回路計に相当します。
♦1 pA / 1 μVの分解能: 設定と測定の優れた感度。♦1Mポイント/秒: 高速に測定でき、任意の波形発生器（リスク掃引）を迅速に設定/デジタル化することができます。
多様なスキャン機能

電圧源の設定と測定分解能/精度

電圧精度	測定範囲^[1]	解像度	精度(1年) ±(% 読み取り値+バイアス)^[2]	雑音の標準値 (有効値)0.1 Hz-10 Hz
	±10 V	1 μV	0.02% +500 μV	100 μV
	±6 V	1μV	0.02% +300 μV	50 μV
温度係数	±(0.15×精度仕様)/℃(0℃-18℃，28℃-50℃)
チャンネル^[3]	CH1 から CH12 まで
オーバーショート	<±0.1%(標準値、Normal、ステップは範囲の10%から90%、測定範囲内の最大値、抵抗負荷テスト)
噪声 10Hz-20MHz	<3 mVrms，6 V電圧源，50 mA抵抗負荷

[1] Guard 端子をいかなる出力にも接続しないでください。機箱のグラウンドや出力 LOに短絡させると、計器が損傷する恐れがあります

[2] 精度計算の例：10Vレンジで1V 出力の精度をテストする場合、許容差は：

[3] すべてのチャネル出力は大地電気と絶縁されていますが、各チャネル出力は共通接地（LO）です

電流源設定と測定分解能/精度

電流精度	測定範囲	解像度	精度(1年) ±(% 読み取り値+バイアス)	雑音の標準値 (有効値) 0.1Hz-10Hz
	±50mA	10nA	0.05%+12μA	1μA
	±10mA	10nA	0.05%+2μA	100nA
	±1mA	1nA	0.05%+200nA	10nA
	±100μA	100pA	0.05%+20nA	1nA
	±10μA	10pA	0.05%+2nA	100pA
	±1 μA	1 pA	0.05%+300pA	50 pA
温度係数	±(0.15 × 精度仕様)/°C (0℃-18℃、28℃-50℃)
チャンネル	CH1 から CH12 まで
オーバーショート	<±0.1%(標準値、Normal、ステップは範囲の10%から90%、測定範囲内の最大値、抵抗負荷テスト)

抵抗測定分解能/精度(4 線)

抵抗測定精度	測定範囲	表示解像度	デフォルトのテスト電流	標準精度(1 年) ± (% 読み取り値 + バイアス)
	100 Ω	100 μΩ	10 mA	0.09%+30 mΩ
	1 KΩ	1 mΩ	1 mA	0.09%+300 mΩ
	10 KΩ	10 mΩ	100 μA	0.09%+3 Ω
	100 KΩ	100 mΩ	10 μA	0.09%+30 Ω
	1 MΩ	1 Ω	1 μA	0.1%+300 Ω
	10 MΩ	10 Ω	100 nA	0.37%+3 KΩ
	100 MΩ	100 Ω	10 nA	3.07%+30 KΩ
温度係数	±(0.15×精度指標)/℃(0℃-18℃，28℃-50℃)
手動電流源抵抗測定(4 線式)	全体誤差=測定電圧/電流源設定電流=抵抗読数 x(電圧源レンジのゲイン誤差パーセント+電流計レンジのゲイン誤差パーセント+電流源レンジのオフセット誤差/設定電流)+(電圧源レンジのオフセット誤差/設定電流値) 例：電流源設定電流=10mA 電圧測定レンジ=6V 全体誤差=(0.02%+0.05%+2μA/10mA)+(300μV/10mA) ≒0.09%+30mΩ

出力セットアップ時間

出力	測定範囲	出力セットアップ時間^[4]			試験条件
出力	測定範囲	Fast^[5]	Normal	Slow	試験条件
電圧源	10 V	<40 μs	<100 μs	<200 us	開路無負荷条件下で、最終値の0.1%以内に達するのに要する時間。ステップは範囲 10%から90%です。
電圧源	6 V	<40 μs	<100 μs	<200 μs	開路無負荷条件下で、最終値の0.1%以内に達するのに要する時間。ステップは範囲 10%から90%です。
電流源	50 mA~100μA	<90 μs	<150 μs	<220 μs	通常条件の満負荷時において、電圧出力は6Vに達します。最終値の0.1%以内に到達するのに要する時間は、10%から90%の範囲でステップします。
	10 μA	<0.5 ms	<1 ms	<2 ms
	1 μA	<0.5 ms	<1 ms	<2 ms

[3]出力変換レート：Fast、Normal、Slow。ユーザーは負荷特性に応じてAPFCパラメータを調整し、適切な整定時間や安定性を得ることができます。

[4]Fastモードでは、異なる測定範囲や負荷条件で出力に大きなオーバーシュートが発生する可能性があります。オーバーシュートに敏感な機器の場合は、normalまたはSlowモードの使用をお勧めします。

サンプリングレートとNPLCの設定

測定精度のディレーティング

誤差が増大する測定範囲のパーセンテージ（PLC<1)