ベンチトップ型高精度ソースメーター
S2026H
デュアルチャネル高精度SMU
聯訊儀器 S2026H高精度SMUはコンパクトで効率的で費用対効果の高いダブルチャネルベンチトップ型SMUで、幅広い電圧源(±200V)と電流源(±1A直流と±3Aパルス)機能、優れた精度、6 1/2桁の表示(最小10fA/100nVの表示分解能)および優れたカラーLCDグラフィックユーザーインタフェース(GUI)を持っています。
特徴
広い測定範囲
測定範囲：±200V、±1A(DC)、±3A(パルス)
高い分解能
最小測定分解能は10fA/100nVに達します
サンプリングレートが高い
最大1MのADCサンプリングレートに対応
しきい値トリガー
ハードウェアによる高速IOは、しきい値トリガーを実現し、出力測定値とユーザーシステムの効率的なインタラクションを実現機能と利点
DC I-V出力能力
電圧ソースメーター仕様
|
電圧設定精度 |
測定範囲 |
分解能の設定 |
精度(1年) ±(%読み取り値+バイアス) |
雑音の標準値 (有効値) 0.1 Hz-10 Hz |
|
±200 V |
100 μV |
0.03%+10 mV |
1 mV |
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±20 V |
10 μV |
0.03%+1 mV |
200 μV |
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±6 V |
1 μV |
0.03%+0.4 mV |
60 μV |
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±0.6 V |
100 nV |
0.03%+100 μV |
20 μV |
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|
温度係数 |
±(0.15×精度仕様)/℃(0℃-18℃、 28℃-50℃) |
|||
|
シングルチャンネルの最大パワー |
20W：±20V@1A；20W：±200V@100mA；0.6W：±0.6V@1A |
|||
|
時間の設定 |
<50 μs（標準値） |
|||
|
オーバーショート |
<±0.1%(標準値、Normal、ステップは範囲の10％から90%、測定範囲内の最大値、抵抗負荷テスト) |
|||
|
ノイズ10Hz-20MHz |
6V電圧源、3A抵抗負荷、<3 mVrms |
|||
電流ソースメーター仕様
|
電流設定精度 |
測定範囲 |
分解能の設定 |
精度(1年) ±(%読み取り値+バイアス) |
雑音の標準値 (有効値) 0.1 Hz-10 Hz |
|
±3 A1 |
1 μA |
0.03% + 2mA |
20 μA |
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±1 A |
100 nA |
0.03% + 90 μA |
3 μA |
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±100 mA |
10 nA |
0.03% + 9 μA |
200 nA |
|
|
±10 mA |
1 nA |
0.03% + 900 nA |
20 nA |
|
|
±1 mA |
100 pA |
0.03% + 90 nA |
2 nA |
|
|
±100 μA |
10 pA |
0.03% + 9 nA |
200 pA |
|
|
±10 μA |
1 pA |
0.03% +1 nA |
30 pA |
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|
±1 μA |
100 fA |
0.03% + 200 pA |
10 pA |
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|
±100 nA2 |
100 fA |
0.06% +30 pA |
5 pA |
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±10 nA2 |
10 fA |
0.06% +9 pA |
1 pA |
|
|
温度係数 |
±(0.15×精度仕様)/℃(0℃-18℃、 28℃-50℃) |
|||
|
シングルチャンネルの最大パワー |
20W：±20V@1A；20W：±200V@100mA；0.6W：±0.6V@1A |
|||
|
時間の設定 |
<100 μs（標準値） |
|||
|
オーバーショート |
<±0.1%(標準値、Normal、ステップは範囲の10％から90%、測定範囲内の最大値、抵抗負荷テスト) |
|||
1、3A測定範囲はパルスモードにのみ対応しており、精度は標準値
2、追加仕様条件: NPLCを10PLCに設定
パルス仕様 (4線式)
|
プログラミング可能な最小パルス幅 |
100 μs |
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パルス幅プログラミング分解能 |
1 μs |
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パルス幅プログラミング精度 |
±10 μs |
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パルス幅ジッター |
2 μs |
|
パルス幅の定義 |
次の図に示すように、10%の先頭から90%の立ち下がり区間までの時間 |
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パルス技術仕様 |
最大電流制限 |
最大パルス幅 |
最大デューティ比 |
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1 |
0.1 A/200 V |
DC、無制限 |
100% |
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2 |
1 A/20 V |
DC、無制限 |
100% |
|
3 |
3 A/66.6 V |
1 ms |
5% |
|
4 |
3 A/160 V |
400 μs |
2% |
|
出力 |
最大出力 |
標準立ち上がり時間1 |
標準安定時間2 |
テスト負荷 |
|
電圧源 |
160 V |
800 μs |
1.2 ms |
無負荷 |
|
5 V |
40 μs |
100 μs |
無負荷 |
|
|
電流源 |
3A~100 μA |
90 μs |
250 μs |
全負荷時3 |
|
10 μA |
120 μs |
300 μs |
全負荷時3 |
|
|
1 μA |
300 μs |
600 μs |
全負荷時3 |
|
|
100 nA |
600 μs |
1.2 ms |
全負荷時3 |
|
|
10 nA |
1.2 ms |
2.4 ms |
全負荷時3 |
1、パルスの先頭が10%から90%までの所要時間
2、パルスが最終値まであと1%に達するまでの所有時間
3、テスト条件:normal 純抵抗全負荷電圧が6Vに上昇
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