
ベンチトップ型高精度ソースメーター
S2032H
デュアルチャネル高精度SMU
聯訊儀器 S2032H高精度SMUはコンパクトで効率的で費用対効果の高いダブルチャネルベンチトップ型SMUで、幅広い電圧源(±200V)と電流源(±1A DCと±3Aパルス)機能、優れた精度、6 1/2桁の表示(最小100fA/100nVの表示分解能)および優れたカラーLCDグラフィックユーザーインタフェース(GUI)を持っています。
特徴

広い測定範囲
測定範囲:±200V、±1A(DC)、±3A(パルス)
高い分解能
最小測定分解能は100fA/100nVに達します
サンプリングレートが高い
最大1MのADCサンプリングレートに対応
しきい値トリガー
ハードウェアによる高速IOは、しきい値トリガーを実現し、出力測定値とユーザーシステムの効率的なインタラクションを実現機能と利点
DC I-V出力能力
|
電圧精度 |
測定範囲 |
測定分解能 |
精度(1年) 【1】 ±(%読み取り値+バイアス) |
雑音の標準値 (有効値)0.1 Hz-10 Hz |
|
±200 V【2】 |
100 μV |
0.03% + 10 mV |
0.4 mV |
|
|
±20 V |
10 μV |
0.03% + 1 mV |
50 μV |
|
|
±6 V |
1 μV |
0.03% + 0.4 mV |
12 μV |
|
|
±0.6 V |
100 nV |
0.03% + 100 μV |
3 μV |
|
|
温度係数 |
±(0.15×精度仕様)/℃(0℃-18℃,28℃-50℃) |
|||
|
オーバーショート |
<±0.1%(Normal,ステップは範囲の10%から90%、測定範囲内の最大値、抵抗負荷テスト) |
|||
|
ノイズ10Hz-20MHz |
<5 mVrms (20 V電圧源,1 A抵抗負荷) |
|||
[1]精度計算の例:600mVレンジで120mV 出力の精度をテストする場合、許容差は:
[2]本仪表には潜在的な危険な高圧(±210 V)がHI /Sense HI/Guard 端子に出力されます。電撃を防ぐために、電源を入れる前に関連する安全対策を講じる必要があります。Guard 端子を任意の出力に接続しないでください。シャーシの接地や出力 LOに短絡することも含めて、そうしないと機器が損傷します
|
電流精度 |
測定範囲 |
測定分解能 |
精度(1年) ±(%読み取り値+バイアス) |
雑音の標準値 (有効値) 0.1Hz-10Hz |
|
±3 A【3】 |
1 μA |
0.03% + 2 mA |
40 μA |
|
|
±1 A |
100 nA |
0.03% + 90 μA |
7 μA |
|
|
±100 mA |
10 nA |
0.03% + 9 μA |
600 nA |
|
|
±10 mA |
1 nA |
0.03% + 900 nA |
60 nA |
|
|
±1 mA |
100 pA |
0.03% + 90 nA |
6 nA |
|
|
±100 μA |
10 pA |
0.03% + 9 nA |
700 pA |
|
|
±10 μA |
1 pA |
0.03% + 1 nA |
80 pA |
|
|
±1 μA【4】 |
100 fA |
0.03% + 200 pA |
20 pA |
|
|
温度係数 |
±(0.15×精度仕様)/℃(0℃-18℃,28℃-50℃) |
|||
|
オーバーショート |
<±0.1%(20V電圧測定範囲,Normal,ステップは範囲の10%から90%、測定範囲内の最大値、抵抗負荷テスト) |
|||
[3]3A 量程のみパルスモードをサポートし、精度は典型値です
[4]小電流測定には、三同軸ケーブル接続を推奨します:Hiは中心導体に接続し、Guardは内側のシールド層に接続し、外側のシールド層は保護接地に接続します;LOは中心導体に接続し、内側のシールド層は接続せず、外側のシールド層は保護接地に接続します。同軸ケーブルの定格絶縁電圧は250V 以上でなければなりません
|
指標項 |
仕様指標 |
|
プログラミング可能な最小パルス幅 |
100 μs |
|
パルス幅プログラミング分解能 |
1 μs |
|
パルス幅プログラミング精度 |
±10 μs |
|
パルス幅ジッター |
2 μs |
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パルス幅の定義 |
次の図に示すように、10 %の先頭から90 %の立ち下がり区間までの時間 |
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最大電流制限 |
最大パルス幅 |
最大デューティ比 |
|
0.1 A/200 V |
DC,無制限 |
100% |
|
1 A/20 V |
DC,無制限 |
100% |
|
3 A/66.6 V |
1 ms |
5% |
|
3 A/160 V |
400 μs |
2% |
|
出力 |
最大出力 |
立ち上がり時間【5】 |
安定時間【6】 |
テスト負荷 |
|
電圧源 |
160 V |
800 μs |
1.2 ms |
無負荷 |
|
5 V |
40 μs |
100 μs |
無負荷 |
|
|
電流源 |
3A~1 mA |
90 μs |
250 μs |
全負荷時【7】 |
|
100 μA~10 μA |
120 μs |
400 μs |
全負荷時【7】 |
|
|
1 μA |
800 μs |
1.2 ms |
全負荷時【7】 |
[5]パルスの先頭が10%から90%までの所要時間
[6]パルスが最終値まであと1%に達するまでの所要時間
[7]テスト条件:normal純抵抗全負荷電圧が6Vに上昇
|
出力 |
測定範囲 |
出力セットアップ時間【8】 |
テスト要件 |
||
|
Fast【9】 |
Normal |
Slow |
|||
|
電圧源 |
200 V |
<500 μs |
<1 ms |
<2 ms |
開回路条件下で、最終値まであと0.1%以内に達するまでの所要時間。ステップは範囲の10%から90%になります |
|
20 V |
<60 μs |
<100 μs |
<600 μS |
||
|
6 V |
<60 μs |
<100 μs |
<300 μs |
||
|
0.6 V |
<50 μs |
<50 μs |
<50 μs |
||
|
電流源 |
3 A~1 mA |
<50 μs |
<100 μs |
<0.8 ms |
Normal条件で全負荷の場合、電圧出力は6Vに達します。最終値まであと0.1%以内に達するまでの(3Aの範囲の場合は0.3%)所要時間。ステップは範囲の10%から90%になります |
|
100μA~10μA |
<100 μs |
<150 μs |
<0.8 ms |
||
|
1 μA |
<1 ms |
<1 ms |
<1 ms |
||
[8]出力スルーレート: Fast、Normal、Slow。ユーザーは自分で負荷特性に応じてAPFCパラメータを調整して、適切なセットアップ時間や安定性を得ることができます。
[9]Fastモードは、異なる測定範囲や負荷条件で出力する場合、大きなオーバーシュートを引き起こす可能性があり、オーバーシュートに対する感度が高い機器にはnormalモードまたはSlowモードをお勧めします。
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設定方法 |
設定範囲 |
|
NPLC |
0.00005 PLC~10 PLC |
|
Sampling Rate |
5 sps~1 Msps |
誤差が増大する測定範囲のパーセンテージ
|
PLC |
測定範囲 |
|||||||
|
600 mV |
6 V |
20 V |
200 V |
1 μA |
10 μA |
100μA至 100 mA |
1 A至 3 A |
|
|
0.1 |
0.02% |
0.01% |
0.01% |
0.01% |
0.02% |
0.01% |
0.01% |
0.01% |
|
0.01 |
0.3% |
0.3% |
0.03% |
0.02% |
0.2% |
0.04% |
0.02% |
0.02% |
|
0.001 |
3.2% |
3.2% |
0.4% |
0.1% |
2.5% |
0.4% |
0.03% |
0.03% |
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