LDテスター
CT8203
低温DIE検査機
CT8203は LDフォワード/バック光電テストとフォワードライトスペクトルテストを実施することができます。2つの温度帯でのテストに対応: 低温/常温の並列テストに対応する2つのテストプラットフォームを備えています。
CT8203の テスト効率が非常に高く、6.5s(LIV掃引一回＋スペクトル掃引三回) 以内で上記の6つのプロセスを遂行できます。大量生産に最適システムは偏心カム構造、高精度リニアモータ、高繰り返し性ステッピングモーター・メーター、高精度治具、電気プローブおよび高熱伝導ステーションを採用することで、非常に高い精度と安定性を実現しています。
特徴
全自動化、インテリジェント化の統合的なソリューション
高度に統合された全自動化ソリューションは、幅広く複雑なテストプロセスをすべてカバー
高い効率
効率を高め、ヒューマンエラーといった潜在リスクを減らします。
メンテナンス・アップグレードは簡単
すべてのコンポーネントは単独で工場に返品可能
使いやすい
自動アラームステータスとプロンプト表示に対応し、機能と利点
全自動化、インテリジェント化の統合的なソリューション
ローディングモジュール
このモジュールは、エジェクターピンZモジュール、X/Y移動モジュール、ブルーシート回転モジュールの4つのサブ機能モジュールで構成され、左側はキャリブレーション用の下部カメラで、上部の識別カメラ、吸引ノズル移動モジュールと合わせて、chipピックアップ機能を実現します。
Chipパッケージングの互換モード: 6インチのウェハーエキスパンダー1つ
高温/低温テストモジュール
このモジュールは3軸受光検出モジュールで構成され、直線移動モジュールでChipのXYθの3方向でのキャリブレーションを実現し、モジュール上部のID/位置識別カメラと、電気プローブ調整モジュールと合わせて、ローディング後の位置・角度の校正とChipテスト給電を遂行できます。PD/コリメータは移動軸を使用し、機能の高速な切り替えを実現します。
テストステーションの温度はプロセスによって独立して設定でき、温度安定性は<±0.2℃
カメラ、電気プローブモジュール
設備の右側のローディングカメラとローディングモジュールを組み合わせて、Chipのローディング識別機能 (材料の要件に応じて異なる機能コンポーネントを組み合わせることができます)を実現できます。 テストモジュール上部のカメラ (設備の中部) は、chipのローディング動作が完了した後、複数回の撮影と3軸移動モジュールを組み合わせることで、Chipの位置キャリブレーションを遂行します (カメラはChipのID認識を同時に遂行)。
電気プローブモジュールは、グループごとに最大3セットのプローブ (バックライトPDサブ機能モジュールがオプション) を載せられて、異なる組み合わせで、DFB/EML、EML＋SOA製品の LIV、EA、スペクトルなどの関連パラメータのテストを実現できます。
アンローディング・グレーディング・モジュール
アンローディングモジュールは4つのキャリア配置エリアを備えており、4つの6インチブルーシートに対応しており、お客様の要件に合わせて互換性のあるアンローディングキャリアをカスタマイズすることもできます。
| パラメータタイプ | パラメータ名 | パラメータ仕様 |
| システム機能 | 対応する製品タイプ | お客様が指定されたDFB、EML及びEML＋SOA Dieテストに対応 (DFBとEMLキャビティの寸法の違いによって、テストステーションを互換性のある/ないものに選択可能) |
| テスト項目 | LDフロントライトとバックライトLIV、EML消光比とスペクトルテスト | |
| テスト温度帯の数 | 2つの温度帯 | |
| ID識別 | Chip ID識別が可能 | |
| チップサイズ | 長さ & 幅≧150 μ m、高さ≧80~150 μm |
|
| 吸引ノズルの構造 | 特殊設計の吸引ノズル構造は、フィードボックスから剥離してから吸い上げます | |
| テストパラメータ | Ith、Se、Iop、Pf、Vf、I r、PKink、Ikink、Rd、Pmax、IRoll、ER、λc、SMSRなど百近くのパラメータは、必要に応じて追加または削除できます | |
| ローディングフィードボックス | 6インチブルーシート1つに対応 | |
| アンローディングフィードボックス | 6インチブルーシート4つに対応 | |
| アンローディング・グレーディング | 識別とテスト結果によって材料を仕分けし、仕分け条件はソフトウェアで顧客の要件に応じて変更できます | |
| CDA要件 | >600 L/min (このフロー未満では露点降下速度に影響を与えます) | |
| 電気的パラメータ | ソースメータータイプ | 聯訊自社開発の高精度ソースメーターまたはその他の指定タイプ |
| ソースメーターの数 | DFB LDには3つのダブルチャンネルソースメーター、EML LDには4つのダブルチャンネルソースメーター、EML+SOAには5つのダブルチャンネルソースメーターを備えています | |
| 入力タイプ | CWとPulse方式の入力に対応 | |
| DC電流源範囲 | 3A、1A、100mA、10mA、1mA、100μA | |
| 最小電源分解能 | 20μA、5μA、500nA、50nA、5nA、500pA | |
| 最小測定精度 | 0.03%+50 nA | |
| DC電圧源範囲 | 30V、10V、1V | |
| 電圧分解能 | 100μV、10μV、1μV | |
| 最小電圧測定精度 | 0.02%+1 mV | |
| 最小パルス幅 | 250 μs | |
| 通常の動作条件でアンダーシュート | EOSなし | |
| 通常の動作条件でオーバーシュート | EOSなし | |
| 異常な動作条件でアンダーシュート | EOSなし | |
| 異常な動作条件でオーバーシュート | EOSなし | |
| 光パラメータ | 検出器タイプ | Ge |
| 光パワー測定の波長範囲 | 800-1700 nm | |
| 光パワー測定範囲 | 10 μw-25 mW(>25 mWの場合は減衰シートを増やして測定することができます) | |
| スペクトルテストの波長範囲 | お客様が提供する分光器または横河AQ6360 | |
| スペクトルテストの精度 | お客様が提供する分光器または横河AQ6360 | |
| EA DCER精度 | ±0.2 dB | |
| 温度 | 温度制御の方法 | TEC+水冷 (露点モニター付き、露点は-70 ℃以内にすることが可能) |
| 温度範囲 | -40~95 ℃ | |
| 温度上昇の速度 | 室温を90℃に上昇する場合の所要時間<5分 | |
| 温度降下の速度 | 室温を-40 ℃ に下降する場合の所要時間<10分 | |
| 温度精度 | ±0.5 ℃ | |
| 温度安定性 | ±0.2 ℃ | |
| システム仕様 | Ith繰り返し性 | ±1% |
| Power繰り返し性 | ±2% | |
| 波長の繰り返し性 | <±0.2 nm | |
| SMSRの繰り返し性 | <3 dB | |
| ID識別の成功率 | >99.5% | |
| UPH | <6.5 秒(1 LIV、3スペクトルスキャンを含む) | |
| 電流パルス幅 | 最小 1μsのパルス幅をサポート(Semight S3026P SMUを使用) |
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