LDテスター
CT8201
常温高温DIE検査機
特徴
全自動化、インテリジェント化の統合的なソリューション
高度に統合された全自動化ソリューションは、幅広く複雑なテストプロセスをすべてカバー
高い効率
効率を高め、ヒューマンエラーといった潜在リスクを減らします。
メンテナンス・アップグレードは簡単
すべてのコンポーネントは単独で工場に返品可能
使いやすい
自動アラームステータスとプロンプト表示に対応し、機能と利点
全自動化、インテリジェント化の統合的なソリューション
ローディングモジュール
このモジュールは、エジェクターピンZモジュール、X/Y移動モジュール、ブルーシート回転モジュールの4つのサブ機能モジュールで構成され、左側はキャリブレーション用の下部カメラで、上部の識別カメラ、吸引ノズル移動モジュールと合わせて、chipピックアップ機能を実現します。
高温・常温テストモジュール
このモジュールは中空の回転プラットフォーム、前後に2つの3軸Chipキャリブレーションモジュールと3軸受光検出モジュールで構成され、モジュール上部のID/位置識別カメラと、電気プローブ調整モジュールと合わせて、ローディング後の位置・角度の校正とChipテスト給電を遂行できます。PD/コリメータは移動軸を使用し、機能の高速な切り替えを実現します。
カメラ、電気プローブモジュール
設備の右側のローディングカメラとローディングモジュールを組み合わせて、Chipのローディング識別機能 (材料の要件に応じて異なる機能コンポーネントを組み合わせることができます)を実現できます。高温/常温テストモジュール上部のカメラ (設備の中部) は、chipのローディング動作が完了した後、複数回の撮影と3軸移動モジュールを組み合わせることで、Chipの位置キャリブレーションを遂行します (高温カメラはChipのID認識を同時に遂行)。
アンローディング・グレーディング・モジュール
アンローディングモジュールは4つのキャリア配置エリアを備えており、4つの6インチブルーシートに対応しており、お客様の要件に合わせて互換性のあるアンローディングキャリアをカスタマイズすることもできます。| パラメータタイプ | パラメータ名 | パラメータ仕様 |
| システムパラメータ | チップタイプ | お客様指定のDFBとEMLチップに対応 |
| チップサイズ | 長さ & 幅≧150 μ m、高さ≧80~150 μm | |
| テスト温度帯 | 2 | |
| テスト項目 | 半導体LDチップのフォワード/バックライトの光学と電気性能 | |
| テストパラメータ | Ith、Se、Iop、Pf、Vf、Kink、Rs、IRoll、λc、SMSRなどはお客様の要件に応じて増減できます | |
| OCR光学文字認識 | オートOCR | |
| Nip | 特殊設計の吸引ノズル構造は、フィードボックスから剥離してから吸い上げます | |
| ローディングの容器 | 6インチのブルーシート1つまたはGel Pak 4つ(オプション) | |
| アンローディングの容器 | 6インチのブルーシート4つまたはGel Pak 16つ(オプション) | |
| 仕分け | 顧客が必要とするあらゆる仕分け方法に対応 | |
| 標準試料管理 | 標準仕様サンプルの管理値はソフトウェアにて調整、管理。標準仕様サンプルは指定計測時間（指定可能）オーバーした場合、システムよりワーニングし、フェールモードへ遷移。 | |
| テスト設定管理 | ソフトウェアはテストメーター、テストアルゴリズム、テストシーケンス、テスト結果判定を含むテスト設定の管理に対応します。 | |
| テストデータ | ユーザーが必要とするすべてのテストデータに対応し、MES関連のニーズに対応します。 | |
| 電気仕様 | SMUタイプ | 聯訊自社開発の高精度ソースメーターまたはその他の指定タイプ |
| 直流電流 | 3 A | |
| I/V ソース解像度 | 10 fA/100 nV | |
| I/V 測定解像度 | 10 fA/100 nVの最小電源分解能 (6 1/2桁) | |
| 電圧範囲 | 70 V | |
| パルス電流 | 10 A | |
| 通常の動作条件でオーバーシュート | EOSなし | |
| 通常の動作条件でアンダーシュート | EOSなし | |
| 異常な動作条件でオーバーシュート | EOSなし | |
| 異常な動作条件でアンダーシュート | EOSなし | |
| 光学仕様 | 光パワー測定検出器タイプ | Ge |
| 光パワー波長範囲 | 800~1700 nm | |
| 光パワー測定範囲 | 10 μw-25 mW(>25 mWの場合は減衰シートを増やして測定することができます） | |
| 光パワー測定精度 | 0.1 dB | |
| スペクトル測定範囲 | 1250-1650 nm (850 is an option) | |
| スペクトル測定精度 | 0.1 nm | |
| パワーカップリング効率 | カップリングパワー〉-15 dBm@スペクトル測定 | |
| EA DCER精度 | 0.2 dB | |
| 温度制御仕様 | 温度制御方法 | TEC |
| 温度範囲 | 25~95 ℃ |
|
| 温度制御エリア | 40 ℃/min | |
| 温度降下の速度 | 2つの独立した温度制御エリア (ダブルステーション) | |
| 昇温速度 | 40 ℃/min | |
| 冷却速度 | 40 °C/min | |
| 温度精度 | ±0.5 °C | |
| 温度安定性 | ±0.2 °C | |
| テストパラメータ仕様 | Ith繰り返し性 | ±1% |
| パワーの繰り返し性 | ±2% | |
| 波長の繰り返し性 | <±0.2 nm | |
| SMSRの繰り返し性 | <3 dB | |
| OCR識別成功率 | 99% | |
| テスト時間 | 6s未満でローディング、OCR識別、LIV掃引1回、スペクトル掃引3回、アンローディング、仕分けを遂行できます。 |
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