LDテスター
CT6201-DC
CoC検査機
蘇州聯訊 CT6201 は全自動のCoCテストシステムで、便利で効率的であることにより、CoCの大規模な量産に最適。聯訊 BI6201 と同じテスト治具を使用して、テスト対象チップのローディング・アンローディングのプロセスのコストを削減し、ローディング・アンローディングにおけるEOS/ESDの潜在リスクをも排除しました。特許設計である光パワーカップリングシステム設計は、光学カップリングとスペクトル測定の速さと繰り返し性を確保します。独特なダブルテストステーションの設計により、各ステーションそれぞれ単独の温度制御を可能にし、温度上昇と下降を待つ時間を省き、CoC治具の両側並列テストに合わせて、テスト効率を大幅に向上させることができます。
特徴
温度範囲が広く、安定性が高い
温度制御範囲が広い: 25-100 ℃
テスト効率が高い
ダブルテストステーションは、両側で並列テストが可能。
繰り返し性が高い
しきい値電流の繰り返し性:<±1%
拡張性が高い
DCまたはパルス電源駆動のLDに対応
| システムパラメータ | チップタイプ | CoC/CoS |
| 治具タイプ | CoCバーンインシステムの治具も使用可能 | |
| 標準48 pcsチップ治具 (カスタマイズ可能) | ||
| 上下治具 | 自動上下治具 | |
| 治具ID掃引識別 | 自動治具Barcode掃引識別 | |
| 並列テスト | CoC治具の両側で並列テストを実施可能 | |
| 標準試料管理 | 標準仕様サンプルの管理値はソフトウェアにて調整、管理。標準仕様サンプルは指定計測時間（指定可能）オーバーした場合、システムよりワーニングし、フェールモードへ遷移。 | |
| テスターの制御 | ソフトウェアはテストステーションの管理機能に対応し、同じ治具がバーンイン前後で異なるテストステーションでテストを行った場合、ソフトウェアは自動的に警告を発します。 | |
| テスト設定管理 | ソフトウェアはテストメーター、テストアルゴリズム、テストシーケンス、テスト結果判定を含むテスト設定の管理に対応します。 | |
| テストデータ | ユーザーが必要とするすべてのテストデータに対応し、MES関連のニーズに対応します。 | |
| 電気仕様 | SMUタイプ | 標準高精度ソースメーター |
| 直流電流 | 3 A | |
| I/V ソース解像度 | 10 fA/100 nV | |
| I/V 測定解像度 | 10 fA/100 nV | |
| 電圧範囲 | 70 V | |
| パルス電流 | 10 A | |
| EOS | EOSなし（いかなる通常の動作と使用条件においても) | |
| 光学仕様 | 光パワー測定検出器タイプ | Ge |
| 光パワー波長範囲 | 800-1700 nm | |
| 光パワー測定範囲 | 10 μw-300 mW(>25 mWの場合は減衰シートが必要) | |
| 光パワー測定精度 | <0.2 dB | |
| スペクトル測定範囲 |
横河AQ6360またはその他の分光器を搭載 |
|
| スペクトル測定精度 | ||
| 光パワーカップリング効率 |
カップリングパワー>-15dBm |
|
| 温度制御仕様 | 温度制御方法 | TEC |
| 温度制御エリア | 2つの独立した温度制御エリア (ダブルステーション) | |
| 温度範囲 | 25-100 ℃ | |
| 温度変化速度(昇温/降温) | 20 ℃/分 | |
| 温度分解能 | 0.01 ℃ | |
| 温度精度 |
25-100 ℃: ±0.5 ℃+1%ΔT |
|
| 温度均一性 | <±0.5 ℃ | |
| 温度安定性 | <±0.2 ℃ | |
| テストパラメータ | Ith繰り返し性 | ±1% |
| パワーの繰り返し性 | ±1% | |
| SE 繰り返し性 | ±2% | |
| 波長の繰り返し性 | <±0.15 nm | |
| SMSRの繰り返し性 | <5 dB |
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